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河南省自然科学基金(2007150042)

作品数:1 被引量:0H指数:0
相关作者:张素华吴养洁许文俭赵娜曾国良更多>>
相关机构:郑州大学更多>>
发文基金:河南省自然科学基金河南省杰出人才创新基金河南省杰出青年科学基金更多>>
相关领域:理学更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 2篇性能研究
  • 2篇刻蚀
  • 2篇光刻
  • 2篇分子
  • 2篇高分子
  • 2篇LB
  • 2篇LANGMU...

机构

  • 2篇郑州大学

作者

  • 2篇曾国良
  • 1篇王筠
  • 1篇李铁生
  • 1篇赵娜
  • 1篇许文俭
  • 1篇吴养洁
  • 1篇张素华

传媒

  • 1篇功能材料

年份

  • 2篇2007
1 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
高分子纳米LB膜的制备及其光刻性能研究
合成并表征了 N-十六烷基丙烯酰胺(HDA) 和对叔丁基苯酚甲基丙烯酸酯(BPhMA)的共聚物 p(HDA-BPhMA)s.当 HDA 含量较高时,共聚物可在气 /液界面上形成稳定,排列紧密的单分子薄膜,并可以 Y 型膜...
曾国良李铁生许文俭张素华王筠赵娜吴养洁
关键词:光刻刻蚀
文献传递
高分子纳米LB膜的制备及其光刻性能研究
2007年
合成并表征了N-十六烷基丙烯酰胺(HDA)和对叔丁基苯酚甲基丙烯酸酯(BPhMA)的共聚物p(HDA-BPhMA)s。当HDA含量较高时,共聚物可在气,液界面上形成稳定,排列紧密的单分子薄膜,并可以Y型膜的方式沉积在各种固体基片上,形成多层均匀的Langrnuir-Blodgett(LB)膜。这种LB膜被成功地应用于光刻,获得了分辨率为0.5μm的LB膜图形。以该图形为抗蚀层,可将图形进一步转移至金属薄膜上,得到分辨率较高的金属图形,在图形转移的过程中,这种LB膜显示出较高的抗蚀性,有望作为纳米抗蚀薄膜材料在亚微米刻蚀领域得到应用。
曾国良李铁生许文俭张素华王筠赵娜吴养洁
关键词:光刻刻蚀
共1页<1>
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