四川省教育厅青年基金(2006B048)
- 作品数：3 被引量：8H指数：1
- 相关作者：王兵王延平何婷孟祥钦黎明更多>>
- 相关机构：西南科技大学中国工程物理研究院更多>>
- 发文基金：四川省教育厅青年基金国家自然科学基金国防基础科研计划更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 氧化铝基体表面预处理对金刚石薄膜生长的影响被引量：1
- 2009年
- 采用微波等离子体化学气相沉积方法,在经不同预处理的氧化铝衬底上沉积金刚石薄膜。用X射线衍射仪、激光拉曼光谱仪、扫描电镜(SEM)对所得薄膜的成分、物相纯度和表面形貌进行表征,比较不同的预处理方式对金刚石薄膜生长的影响。结果表明,基体表面经过熔融碱腐蚀后形成薄膜的膜基结合良好且膜材质量最佳,但表面平整度较低;而基体只经金刚石微粉乙醇悬浊液超声处理则在沉积时金刚石容易成膜,且结构要更为致密;在经过酸腐蚀的基体上沉积金刚石薄膜时,容易在薄膜与基体之间先形成过渡层,而后才进行金刚石薄膜的沉积。所得结果表明熔融碱腐蚀处理是获得电学应用氧化铝基金刚石薄膜复合材料的最适宜的基体表面预处理。
- 孟祥钦王兵王玉乾甘孔银李凯王延平何婷
- 关键词：氧化铝金刚石薄膜MPCVD
- 不同反应气源对制备纳米金刚石膜的影响被引量：6
- 2010年
- 为确定两种典型的反应气源对制备纳米金刚石膜的影响,分别以CH4/Ar/H2及CH4/N2混合气体作为反应源,用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)法制备纳米金刚石薄膜.XRD和Raman分析表明两种气源条件下得到的膜材均为金刚石多晶膜,但用CH4/N2气为反应源沉积的膜材中非金刚石相成分明显更多;AFM和SEM对照分析证实所有膜层的平均晶粒尺寸及表面粗糙度均在几十纳米量级,但CH4/N2气源沉积的膜中容易形成异常长大的晶粒,不利于表面质量的提高.研究结果表明,以CH4/Ar/H2混合气体作为反应气源可制备物相组成纯度更高、表面形态更为优越的纳米金刚石膜.
- 王兵熊鹰黎明李凯
- 关键词：化学气相沉积金刚石纳米膜气源
- 金刚石薄膜/氧化铝陶瓷复合材料的应用研究被引量：1
- 2010年
- 氧化铝陶瓷基片的广泛应用以及金刚石薄膜自身优异的物理化学性能,使得氧化铝基金刚石薄膜复合材料成为研究热点。阐述了这种复合材料不同的制备方法,综述了氧化铝基金刚石薄膜复合材料的性能,介绍了超纳米金刚石薄膜在氧化铝陶瓷基片上的应用研究,指出通过适当的基体表面预处理以及合适的工艺条件可以制备出不同用途的氧化铝基金刚石薄膜复合材料。
- 孟祥钦王兵甘孔银王延平何婷
- 关键词：氧化铝陶瓷金刚石薄膜化学气相沉积纳米材料
