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沈阳市科技计划项目(108155-02-00)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：李林瑛胡静涛更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院研究生院更多>>
发文基金：沈阳市科技计划项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇调度
  • 1篇晶圆
  • 1篇集束型装备
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体制造
  • 1篇并行机

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 1篇胡静涛
  • 1篇李林瑛

传媒

  • 1篇计算机集成制...

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
多集束型装备调度的k晶圆周期序列问题被引量：3
2010年
为解决机械手活动序列和产能分析这一半导体制造业多集束型装备调度的关键问题,研究了一类通用的多集束型装备机械手调度中的k晶圆周期序列问题,证明了k晶圆周期序列的平均周期下界。提出了一种构造k晶圆周期序列的策略和实现该策略的构造算法,并根据构造算法推导出了平均周期的表达式。最后,通过仿真数据和国内某Track机厂商的真实数据验证了该策略的优越性和实用性。
李林瑛胡静涛
关键词：半导体制造并行机调度
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