四川省教育厅资助科研项目(12ZB285)
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 相关作者：刘春海王龙陈昶曾宪光陈建更多>>
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- 发文基金：材料腐蚀与防护四川省重点实验室开放基金项目国家自然科学基金四川省教育厅资助科研项目更多>>
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- 超薄MoN扩散阻挡层的扩散阻挡性能分析
- 2012年
- 采用磁控溅射法,制备了超薄MoN扩散阻挡层,并对Cu/MoN/Si体系进行真空退火。用四点探针(FPP)、X射线衍射(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)进行薄膜电性能和微结构表征。分析结果表明,MoN作为Cu扩散阻挡层结构具有良好的热稳定性,失效温度达到600℃,明显优于Mo扩散阻挡层。
- 刘春海王龙崔学军金永中叶松
- 关键词：磁控溅射MON扩散阻挡层热稳定性
- 三维Ni亚微米柱阵列的制备及微结构研究被引量：1
- 2016年
- 利用磁控溅射法在阳极氧化铝(AAO)模板上制备了Ni亚微米柱阵列,研究了不同退火温度对Ni亚微米柱阵列结构稳定性的影响。通过原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)等对不同退火温度下制备的Ni亚微米柱阵列的晶体结构以及表面形貌进行了表征。结果表明,磁控溅射法制备的Ni亚微米柱阵列具有多晶的面心立方结构,排列规则、粗细均匀,其直径约为400nm。经400℃退火后,开始形成Al1.1Ni0.9和AlNi金属间化合物。500℃退火后,出现空心Ni亚微米柱,且Ni亚微米柱体积膨胀变粗。600℃退火后,Ni亚微米柱部分脱落。
- 陈昶张伟陈建刘春海曾宪光杨瑞嵩王龙蒲国
- 关键词：AAO模板表面形貌
