国家自然科学基金(50375154)
- 作品数：36 被引量：257H指数：10
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- 相关机构：国防科学技术大学武汉军械士官学校装甲兵工程学院更多>>
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- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信一般工业技术更多>>
- 硅微陀螺模态频率温度特性的研究被引量：10
- 2009年
- 硅微机械陀螺的零位输出受温度影响较大,为提高精度,对其进行温度误差补偿很有必要,而陀螺表头真空封装后内部温度难以直接测量。通过研究模态频率与温度之间的关系,发现驱动轴谐振频率与温度之间存在很好的线性相关性,同时具有很好的温度重复性。由于谐振频率的精度很高,所以用谐振频率测量温度会有很好的分辨率。因此,可以利用驱动模态的谐振频率来标定陀螺表头内部的温度,为下一步的温度补偿提供新的方法。
- 满海鸥肖定邦吴学忠陈志华侯占强
- 关键词：温度模型
- 解耦型静电力闭环微陀螺被引量：2
- 2005年
- 微陀螺采用双框架双支撑解耦结构实现XY方向运动相对独立,驱动模态采用叉指电容结构实现大范围静电驱动,敏感模态方向采用差分电容作为检测接口实现高精度位置测量。X方向设计了独立的位移检测单元,而Y方向配置了静电力反馈单元,实现系统的闭环静电力反馈控制,提高传感器的性能。为分析提高系统输出精度的条件,推导出影响系统检测灵敏度的因素,改进了驱动模态闭环方案,提出了敏感模态无相差静电力反馈方法。
- 刘宗林李圣怡吴学忠
- 关键词：微机电系统微陀螺
- 微陀螺闭环驱动方法被引量：3
- 2009年
- 为了获得最佳的驱动效率，采用相位控制技术设计了微陀螺谐振环路，使微陀螺产生驱动模态谐振。为了提高微陀螺的稳定性，设计了ITAE性能指标最优的PID控制器，使微陀螺驱动轴振动幅值保持恒定。闭环驱动电路的测试结果表明，谐振环路振荡频率与驱动模态频率非常接近，采用PID控制器后，在-40℃～80℃范围内，微陀螺驱动轴振动幅值的变化仅为0．1％，振动幅值稳定性有显著改善。
- 肖定邦侯占强满海鸥吴学忠李圣怡
- 关键词：微陀螺谐振PID控制
- 纳米晶体线的热膨胀性质被引量：1
- 2006年
- 将原子间相互作用势的非谐项作为微扰,运用声子数表象中的晶格原子振动位移和晶格振动哈密顿公式,推导了纳米晶体线的热膨胀系数公式,并进行了数值计算.研究结果表明,纳米晶体线越细,其热膨胀系数越大.
- 黄建平吴学忠李圣怡
- 关键词：热膨胀系数微扰理论
- 叉指微加速度计的设计与闭环检测研究被引量：1
- 2007年
- 设计了一种“叉指式”微机械加速度计和相应的闭环检测电路,介绍了此微加速度计的加工工艺,并使用Ansys软件进行了模态分析和机械分析,仿真结果跟理论计算相吻合。最后对该闭环微加速度计进行了测试,得到的测量线性度为2.5%,刻度因子为3V/g。
- 张洪震吴学忠肖定邦
- 关键词：有限元分析
- 石英微陀螺的机械耦合问题研究被引量：8
- 2007年
- 通过研究石英微陀螺的机械耦合误差,对理想和非理想陀螺进行了机械建模和分析,推导出了微陀螺的敏感输出信号和机械耦合的关系公式。通过仿真,讨论了机械耦合与陀螺各参数之间的关系和相互影响程度。
- 谢立强吴学忠李圣怡
- 关键词：微机械陀螺石英
- Design and analysis of a micromachined vibrating gyroscope with decoupled oscillation modes
- This paper presents a new gyroscope structure that allows decoupled drive and sense oscillation modes, the osc...
- Di Di
- 文献传递
- TMAH腐蚀液制作硅微结构的研究被引量：14
- 2006年
- 通过各向异性腐蚀硅微结构工艺,研究了四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液的特性,包括硅(100)晶面腐蚀速率与TAMH溶液浓度、温度、pH值以及过硫酸铵添加剂的关系,并采用原子力显微镜研究了不同腐蚀条件下硅的表面形貌,研究表明随TMAH溶液的浓度的降低和腐蚀温度的提高,腐蚀速率提高,硅腔的表面粗糙度增大;过硫酸铵添加剂明显改善了硅微腔的表面平整度。本研究所确定的最佳腐蚀工艺条件为溶液中TMAH浓度为25%,过硫酸铵添加剂浓度为3%,腐蚀温度80℃。在此工艺条件下腐蚀出了深度为230μm、表面粗糙度小于50nm的硅微腔。
- 张建辉李伟东万红吴学忠
- 关键词：MEMSTMAH硅微结构各向异性腐蚀
- 测试压阻式三轴高g加速度计的霍普金森杆法(英文)被引量：2
- 2009年
- 研究了一种压阻式三轴高g加速度计的霍普金森杆法测试实验及其数据处理方法。被测加速度计安装于标定杆的端部,从高压气舱中射出的子弹高速撞击标定杆,所产生的冲击以应力波的形式在标定杆中传播,并可以通过安装在杆中部的应变计记录。通过比较应变计的输出和加速度计输出的积分,可以计算得出被测加速度计的灵敏度。利用这种标定方法,测试了一种压阻式单片集成三轴高g加速度计的Z轴单元和X轴单元的灵敏度,测试结果分别为(2.18μV/g)/5V和(2.15μV/g)/5V。这一测试结果与利用自由落杆测试系统得出的测试结果基本吻合,表明本文所采用的测试系统及实验数据处理方法是可信的。
- 董培涛黎渊吴学忠侯占强肖定邦覃金贵王晓峰
- PECVD氮化硅薄膜制备工艺研究被引量：3
- 2005年
- 通过原子力显微镜和台阶仪观察测试PECVD氮化硅薄膜的表面形貌及其在HF缓冲液中的被腐蚀速率,研究了用SiH4和NH3作反应气体时,影响PECVD氮化硅薄膜均匀性、致密性、淀积速率、被腐蚀速率的几个关键因素,并对一些常用的工艺参数进行了总结.
- 李伟东吴学忠李圣怡
- 关键词：氮化硅
