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国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ04013609)
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
相关作者:
李飞
赵维谦
李林
洪宝玉
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相关机构:
中国计量科学研究院
北京理工大学
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发文基金:
国家重大科学仪器设备开发专项
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相关领域:
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洪宝玉
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李飞
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计量学报
年份
1篇
2014
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基于激光差动共焦技术的后顶焦度测量系统
被引量:4
2014年
为满足后顶焦度高精度测量需求,提出了一种基于激光差动共焦技术的后顶焦度测量方法,研制了一套测量系统。该系统将激光差动共焦技术的精密定焦性能应用于后顶焦度测量,显著地提高了定焦定位能力,利用干涉测长技术测量相应偏离距离,最终实现后顶焦度的精密测量。分析了测量装置的设计思路和测量精度的影响因素。理论分析和实验结果表明,该系统测量精度可达0.03m^-1。
李飞
李林
洪宝玉
赵维谦
关键词:
计量学
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