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中央高校基本科研业务费专项资金(A09-4)

作品数：1 被引量：5H指数：1
相关作者：王德信张菁杨沁玉王庆瑞丁可更多>>
相关机构：东华大学更多>>
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相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇阴极射线
  • 1篇射线衍射
  • 1篇光谱
  • 1篇红外
  • 1篇红外光
  • 1篇红外光谱
  • 1篇X射线衍射

机构

  • 1篇东华大学

作者

  • 1篇丁可
  • 1篇王庆瑞
  • 1篇杨沁玉
  • 1篇张菁
  • 1篇王德信

传媒

  • 1篇光散射学报

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
多孔氧化硅薄膜阴极射线谱的研究被引量：5
2010年
采用近常压下等离子体增强化学气相沉积的方法制备得到多孔氧化硅薄膜,并在沉积区域加载偏压对薄膜形貌和性质进行调制。扫描电镜显示偏压条件下沉积的薄膜更加蓬松多孔,常温下阴极射线谱表明:增大偏压的占空比,CL谱中发光峰的位置并不改变,但谱线强度增大。发光峰的位置说明薄膜中的主要成分是Si-O-Si基团,且该种基团以非桥键的形式存在,薄膜中还存在少量的Si-H键,这与红外光谱测试结果一致。X射线衍射结果表明薄膜中的SiO2是非晶态的。
杨沁玉王德信丁可张菁王庆瑞
关键词：红外光谱X射线衍射
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