国家自然科学基金(50702051)
- 作品数：6 被引量：6H指数：1
- 相关作者：王新昌王前进田四方王俊喜董向丹更多>>
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- 相关领域：理学一般工业技术电气工程电子电信更多>>
- SAW器件用金刚石基c轴取向LiNbO_3压电薄膜的制备被引量：1
- 2010年
- 采用脉冲激光沉积技术,在以c轴取向ZnO作为缓冲层的金刚石/硅基底上制备出了结晶良好的高c轴取向LiNbO3薄膜。利用X射线衍射对薄膜的结晶质量和c轴取向性进行了研究,结果表明制得的LiNbO3薄膜具有高度c轴取向且结晶质量良好。采用扫描电子显微镜和原子力显微镜对薄膜的表面形貌进行了分析,发现薄膜表面光滑,晶粒尺寸均匀,薄膜表面粗糙度约为20nm。
- 王新昌田四方贾建峰王前进
- 关键词：脉冲激光沉积
- 脉冲激光沉积金刚石基c轴取向LiNbO3压电薄膜被引量：1
- 2012年
- 采用等化学计量比的LiNbO3多晶陶瓷为靶材,利用脉冲激光沉积技术在以非晶SiO2为缓冲层的金刚石/Si衬底上制备c轴取向LiNbO3薄膜。研究了靶材与衬底之间的距离对LiNbO3薄膜的结晶质量和c轴取向性的影响,发现在靶材与衬底之间的距离为4.0cm时获得了具有优异结晶质量的完全c轴取向LiNbO3压电薄膜。采用扫描电子显微镜和原子力显微镜对最佳条件下制备的薄膜进行了分析,结果表明制得的薄膜呈与衬底垂直的柱状结构,且薄膜表面光滑,晶粒均匀致密,表面平均粗糙度约为9.5 nm。
- 田四方梅欣丽赵明岗王前进王新昌
- 金刚石基压电薄膜研究进展被引量：1
- 2008年
- 移动通信技术的迅猛发展扩大了高频声表面波(SAW)器件的应用范围,金刚石因具有最高的声表面波传播速度而使得压电薄膜/金刚石多层结构成为高频声表面波器件的首选材料。综述了ZnO/diamond、AlN/diamond和LiNbO_3/diamond多层结构声表面波特性理论研究及实验研究进展,并展望了其今后的发展趋势。
- 杨晓朋宋平新王新昌姚宁张兵临
- 关键词：压电薄膜金刚石声表面波
- 微米及纳米金刚石薄膜的制备及其组织性能研究被引量：2
- 2009年
- 采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法在铜衬底上沉积了微米和纳米两种金刚石薄膜,过渡层均为钛-铝-钼。用场发射扫描电子显微镜(FESEM)观察薄膜的表面及断面形貌,用拉曼(Raman)光谱测量所得金刚石薄膜的质量,利用压痕法测试了所得薄膜的附着性能,研究结果表明:过渡层可有效提高微米金刚石薄膜在铜衬底上的附着力,反应气氛中Ar的存在可促使纳米金刚石薄膜的形成,改善薄膜表面的粗糙度。
- 史新伟李杏瑞王新昌程春晓柴士磊
- 关键词：过渡层金刚石薄膜附着力
- 不同结构的一维纳米ZnO的制备及其性能研究被引量：1
- 2010年
- 采用热蒸发法在不同的条件下制备出了阵列状和铅笔状的一维纳米ZnO。利用X射线衍射、扫描电子显微镜、场发射测试仪、光致发光谱对ZnO纳米材料的结晶质量、形貌及场发射性能进行了分析。阵列状氧化锌纳米结构c轴择优取向良好,铅笔状氧化锌纳米结构场发射性能良好。两种纳米结构的室温光致发光谱均显示出了强紫外发射峰和弱绿光发射峰。
- 董向丹王新昌王俊喜王爱华
- 关键词：氧化锌热蒸发场发射性能光学性能
- LiNbO_3压电薄膜的研究进展
- 2010年
- LiNbO3因其优异的压电性能和声表面波特性而被广泛应用于声表面波器件中。对LiNbO3的声表面波特性及薄膜制备技术进行了综述,并着重介绍了LiNbO3/蓝宝石及LiNbO3/金刚石多层结构的制备、声表面波特性的理论研究及压电薄膜研究进展。
- 王俊喜董向丹张丽伟王新昌
- 关键词：LINBO3压电薄膜声表面波
