国家自然科学基金(50675212)
- 作品数：22 被引量：78H指数：4
- 相关作者：石云波刘俊杜康杨卫岳元更多>>
- 相关机构：中北大学教育部中国电子科技集团第十三研究所更多>>
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- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 静电驱动压阻检测微机械陀螺仪的研究被引量：3
- 2010年
- 对静电驱动压阻检测微机械陀螺仪进行了结构设计并对工作原理进行了介绍.与硅压阻器件相比,本文利用多势垒纳米膜所具有的压阻效应作为检测方式,实现了较高的压阻灵敏度;采用硅基异质外延砷化镓薄膜工艺进行陀螺结构以及多势垒纳米膜器件的加工,较好地实现了工艺的兼容.通过对结构进行模态仿真,确定了陀螺的固有频率.
- 王瑞荣杜康石云波刘俊
- 关键词：静电驱动压阻检测微机械陀螺
- 高过载存储测试中抗过载技术的研究被引量：8
- 2009年
- 介绍了高过载存储测试的系统组成和设计原理。对记录器抗高过载能力进行理论分析和试验证明,从电路和结构设计方面考虑提高抗高过载能力。应用ANSYS软件对结构进行仿真,并采用缓冲和灌封技术相结合的方案,使得防护效果更佳。经过试验证明:这种方案具有很高的可靠性。
- 文丰乔建忠李艳
- 关键词：侵彻ANSYS仿真
- 谐振式微加速度计差频检测电路研究
- 2009年
- 微机械谐振式加速度计的输出频率信号不易受到环境噪声的干扰,在传输和处理过程中也不易出现误差。针对实验室加工的谐振式微机械加速度传感器,采用静电激励和电容拾振的检测方式,设计了电容拾振检测电路和差频输出电路,实现了谐振式加速度计的微弱差频信号检测。利用精密分度盘对该加速度传感器进行了性能测试,实验室测试灵敏度为25.7 Hz/g,达到了设计要求。
- 石云波王玲刘俊
- 关键词：谐振式加速度计差频微弱信号检测
- 介观压阻效应微陀螺仪的制造问题及改进方法
- 2009年
- 将利用多势垒纳米膜介观压阻效应的高灵敏度器件应用在陀螺中,提出了介观压阻效应微陀螺仪结构,并论述了其工作原理.研究并开发了多势垒纳米膜及介观压阻效应微陀螺仪的制造工艺,通过对制造后的结构进行测试,发现了制造过程中的缺陷,包括敏感结构多势垒纳米膜制造缺陷、陀螺检测梁和驱动梁制造缺陷、检测信号电磁干扰缺陷和封装缺陷等.分析论述了形成缺陷的原因,提出了克服这些问题的工艺方法,从而改进了隧穿微机械陀螺仪的制造工艺,有利于提高微陀螺的制造成品率.
- 李孟委杜康刘俊王勇石云波
- 关键词：介观压阻效应
- 微型高过载加速度传感器的加工与测试被引量：17
- 2008年
- 针对特殊场合的测试要求,设计了四端全固支的高过载梁岛结构加速度传感器,结构中采用在质量块背部氢氧化钾腐蚀的方法,减小质量块的质量,及其与梁中性面的相对距离,使梁岛式结构与平膜式结构的优点得到有效结合,结构加工工艺简单可行。利用霍普金森冲击校准装置进行冲击加速度动态特性校准,试验结果分析表明,被测微加速度传感器的灵敏度为0.71μV/g,与理论值基本吻合。结构受到200 000g冲击后完好且输出信号正常,能有效地满足高冲击、强烈振动场合的特殊测试要求。
- 石云波祁晓瑾刘俊孟美玉
- 关键词：高过载加速度传感器
- 介观压阻效应电磁驱动微机械陀螺仪的设计与测试
- 2010年
- 将共振隧穿二极管具有的介观压阻效应与哥氏效应结合应用于陀螺的设计中,提出了一种新型的采用回折型正交梁的陀螺结构。结合现在的工艺水平,设计了合理的加工工艺方案,并进行了加工与封装。通过对封装后的陀螺进行驱动方向测试,得到了固有频率的范围;检测方向上利用振动台对陀螺灵敏度进行了测试,得到在1kHz和4kHz时的测试灵敏度分别为7.51mV/gn、100.74mV/gn。
- 王瑞荣杜康石云波刘俊
- 关键词：介观压阻效应微机械陀螺
- 纳米膜共振隧穿效应微陀螺的设计与测试
- 2009年
- 提出了一种新颖的基于纳米薄膜共振隧穿结构(RTS)的微陀螺。对共振隧穿结构的介观压阻效应进行了理论分析;设计了RTS的结构和工艺方法;制备出了能反映共振隧穿效应的RTS结构。该结构降低了器件的寄生电容,改善了敏感薄膜的负阻特性,适用于共振隧穿效应陀螺。对共振隧穿效应陀螺进行了结构设计和理论仿真;利用体工艺制造了微陀螺;对陀螺的关键性能参数进行了测试。
- 刘俊马宗敏石云波杜康张文栋张斌珍
- 关键词：仪器仪表技术陀螺仪负阻特性
- 一种高精度低量程隧道陀螺仪的隧道电流效应分析
- 2009年
- 针对微卫星所用高灵敏、低量程陀螺的需求,提出了一种高精度低量程隧道式陀螺仪的新结构,对隧道陀螺的基本组成部件进行了详细的分析,并介绍了其工作原理.设计了隧道陀螺仪的隧道电流测试方案,采用HP 4156C高精度半导体参数测试仪对传感器的隧道电流效应进行了测试,并对隧道电流效应进行了理论分析,在此理论分析的基础上对测试数据进行了归纳与分析,得到器件势垒高度的值分别为0.518 eV,0.555 eV.验证结果表明:本结构隧道电流效应明显,器件有较高的灵敏度.
- 刘俊张琼石云波刘晓鹏朱政强
- 关键词：陀螺仪
- 共振隧穿微陀螺仪哥氏效应仿真及理论验证
- 2010年
- 介绍了微机械陀螺和共振隧穿效应器件的工作原理,提出了基于共振隧穿效应的微机械陀螺仪结构.利用ANSYS软件仿真分析了输入角速度、角加速度及驱动速度对哥氏效应的影响.对微陀螺仪的检测结构进行了理论建模,详细分析了输入角速度、哥氏力、检测梁正应力三者间的关系,并推导出检测梁正应力的理论计算关系式.经数据分析验证了计算结果与仿真结果是一致的,说明基于ANSYS软件的仿真分析方法是可行的,能够用于共振隧穿微陀螺仪的结构设计中.
- 李孟委汪圣稀杜康刘俊石云波
- 关键词：ANSYS仿真
- 基于热释电红外传感器探测距离影响因素的研究被引量：20
- 2010年
- 为提高热释电红外传感器对目标(行人)的探测距离,对被动式红外传感器探测系统和红外信号进行了研究.由于热释电红外传感器的信号与目标(行人)的感知部位、环境与目标温度差值、透镜的面积和区段数量有关,设计了一种测试红外传感器探测系统感知距离的试验方法.实验结果表明,在考虑了影响探测距离的几个因素后,改进后的红外探测系统探测距离由原来的10m提高到40m,红外信号探测良好.试验方法和结果对其他同类型探测系统的研究有一定的指导和借鉴意义.
- 张晔杨卫岳元徐薇
- 关键词：热释电红外传感器
