黑龙江省研究生创新科研项目(YJSCX2011-301HLJ)
- 作品数：1 被引量：0H指数：0
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- 温度对高甲烷含量下直流热阴极PCVD法制备纳米金刚石膜的影响
- 2011年
- 采用直流热阴极等离子体化学气相沉积(PCVD)技术,在CH4,H2流量分别为6sccm和200sccm,反应室气压为6×103 Pa时,通过改变基底温度,制备金刚石膜.采用拉曼光谱仪、扫描电镜和X射线衍射分析仪对样品进行表征.结果表明:利用直流热阴极PCVD方法,在较高的甲烷含量、较低的反应室气压及较低的基底温度下,可以制备出质量较好的纳米金刚石膜,随着基底温度的降低,晶粒尺寸减小,非金刚石相增多,膜的质量下降.
- 吴春雷郑友进王明磊张军姜宏伟刘艳凤
- 关键词：PCVD
