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国家自然科学基金(60871050)
作品数:
1
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王力
胡佳
杜晓松
廖明杰
谢光忠
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蒋亚东
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王力
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1篇
2011
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基于MEMS技术的微型气相色谱柱的研究进展
被引量:2
2011年
微型气相色谱柱是基于MEMS技术的微型分析化学器件,主要用于混合化学组分的分离,采用MEMS技术制作的微型气相色谱柱在体积上得到了极大的缩小,便于集成到便携式设备中,其次,微型器件带来更小的热容量,因而能在更小的功耗下获得更快的升温速率,从而加快了分析速度,进而改进了器件的整体性能。针对MEMS微型气相色谱柱的研究现状,重点从色谱柱材料选择、柱身布局及其柱内结构、制作工艺、固定相选择及涂敷方式进行了综合分析比较。
廖明杰
王力
杜晓松
谢光忠
胡佳
蒋亚东
关键词:
气相色谱
气体探测
微机电系统
涂敷
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