国家教育部博士点基金(20081831024)
- 作品数：2 被引量：15H指数：2
- 相关作者：赵宏伟黄虎赵宏健杨柏豪吕扬更多>>
- 相关机构：吉林大学北京航天计量测试技术研究所浙江大学更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金国家科技部科技人员服务企业行动项目国际科技合作与交流专项项目更多>>
- 相关领域：电子电信理学更多>>
- 单晶硅纳米力学性能的测试被引量：13
- 2009年
- 对材料纳米力学性能测试手段进行了研究,着重分析了纳米压痕技术的原理和方法。结合纳米压痕技术,采用尖端四面体Vickers型单晶金刚石压头对单晶硅(100)晶面进行了纳米压痕实验测试。实验发现,在载荷为1000mN时,晶体硅出现了明显的裂纹和脆性断裂;而在载荷低于80mN的情况下,晶体硅则表现出延性特性。此外,在不同载荷条件下对晶体硅的硬度进行了实验测试,测试结果发现,不同载荷条件下晶体硅的硬度测量值存在较大的差异,认为导致这种差异的原因在于压痕区域晶体硅所受压力不同,使得晶体硅内部结构发生了改变,较为准确的单晶硅的硬度测量值为15.7GPa。
- 赵宏伟杨柏豪赵宏健黄虎
- 关键词：纳米压痕
- 基于单晶硅各向异性特征的纳米压痕过程有限元仿真研究被引量：3
- 2014年
- 本文采用各向异性弹塑性材料本构关系,利用非线性有限元软件MSC.Marc建立了单晶硅纳米压痕过程的三维模型,分别用玻氏、维氏、圆锥形和球形压头对单晶硅(100)晶面进行了纳米压痕过程的仿真分析,研究了单晶硅对于不同形状的压头、不同压头半锥角、不同最大加载力的加、卸载响应特性。仿真结果表明,压入相同深度时,圆锥形压头所需载荷最小,材料对圆锥形和球形压入产生的应力应变分布呈现出各向异性,体现了单晶硅在不同晶向上的材料性能存在差异。当最大加载力为25mN时,仿真得出维氏压头在单晶硅(100)晶面产生的压痕深度约为300nm,与相应实验结果基本相符。
- 马尧王小月黄虎吕扬赵宏伟
- 关键词：单晶硅纳米压痕有限元仿真
