国家自然科学基金(0801032)
- 作品数：1 被引量：0H指数：0
- 相关作者：林楠森刘春秀蔡新霞王利罗金平更多>>
- 相关机构：中国科学院研究生院中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：中国科学院科研装备研制项目全球变化研究国家重大科学研究计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 离体电生理检测微电极阵列传感器的设计与制备(英文)
- 2011年
- 针对动物离体组织电生理检测的实际需求,设计并制备了一种以载玻片为基底,以微电极阵列为敏感元件,并将灌流装置集成一体的传感器芯片.采用微电子机械系统(MEMS)技术中的薄膜工艺完成了微电极阵列的制备,其导电层和绝缘层分别是铂和氮化硅.采用聚二甲基硅烷(PDMS)浇铸制成埋有管道的方形灌流槽.该传感器可保持离体组织的生理活性,同时实现电生理信号的64通道同步记录.整个芯片结构紧凑,接口简单,使用方便.对芯片的电学性能进行了研究,结果表明,通过在微电极表面电镀修饰铂黑,可有效降低其交流阻抗,提高信噪比.
- 宋轶琳林楠森刘春秀罗金平王利蔡新霞
- 关键词：微电极阵列电生理MEMS
