国家科技重大专项(2008ZX02501)
- 作品数：6 被引量：15H指数：3
- 相关作者：赵永蓬王骐李琦徐强郭本银更多>>
- 相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所哈尔滨工业大学中国科学院大学更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信更多>>
- 反射式单级衍射光栅被引量：2
- 2012年
- 介绍了单级衍射光栅的发展趋势,从理论上论证了单级衍射光栅的可行性,引入了一种新型衍射光学元件——准正弦反射式单级衍射光栅(QSRG).它能有效抑制高级衍射,可用于提高光谱系统的信噪比和精度.而通过QSRG的实验结果也验证了此新型色散元件确实具有良好的单级衍射特性,二级及以上的高级衍射被有效地抑制,与理论预测几乎一致.本文的结果可望在反射式光谱测量系统中得到广泛应用.
- 翁永超况龙钰高南曹磊峰朱效立王晓华谢常青
- 关键词：单级衍射光栅
- 等离子体尺寸对放电极紫外光源影响被引量：4
- 2013年
- 计算了放电等离子体极紫外光刻光源中，不同等离子体长度条件下的收集效率，实验上研究了等离子体长度对Xe气放电极紫外辐射的影响。结合本系统光学收集系统设计参数和理论计算结果，给出了不同等离子体长度条件下中间焦点处13．5nm（2％带宽）光功率。结果表明等离子体长度为3～6mm时毛细管光源中间焦点光功率和尺寸最优。
- 赵永蓬徐强李琦王骐
- 关键词：毛细管放电Z箍缩
- Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究被引量：3
- 2013年
- 理论和实验上研究了Xe介质毛细管放电极紫外光源等离子体时间特性和最佳条件.从理论上建立了Xe介质一维辐射磁流体力学模型,模拟了不同气压和电流条件下等离子体压缩和辐射特性;实验上测量了放电电流30 kA时不同气压条件下13.5 nm(2%带宽)动态特性.理论和实验结果表明:不同放电电流条件下,存在最佳气压值,最佳气压随着电流的增加而增加;同时,电流增加时,13.5 nm(2%带宽)辐射光强峰值时刻减小.
- 赵永蓬徐强肖德龙丁宁谢耀李琦王骐
- 关键词：毛细管放电磁流体力学
- 六自由度微动并联机器人工作空间分析被引量：4
- 2015年
- 以实际研制的微动并联机器人为研究对象,对其工作空间进行了分析。首先给出了微动并联机器人的机构组成及工作原理,依据本身结构特点,分析了影响工作空间的约束条件。为了得到机器人带有倾斜调整能力的工作空间,采用合适的欧拉角表达运动平台的姿态,给出了运动学逆解的求解方法,并在此基础上利用数值法通过空间扫描边界点的方式获得了机器人定姿态工作空间和灵活姿态角为700μrad工作空间。该分析方法对微动并联机器人设计及性能评价具有重要意义。
- 郭本银刘钰苗亮
- 关键词：并联机器人数值法逆解
- 极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用被引量：3
- 2014年
- 极紫外光刻投影系统中高反膜厚度一般约300nm,远大于13.5nm的工作波长,光能并不能完全穿透膜层入射到基底,从而引入数倍于波长的额外光程差,降低系统成像质量。从能量调制的角度提出了一种基于能量守恒定律的多层膜等效工作界面模型,将光学薄膜中复杂的物理光学过程等效地转换为简单直观的几何光学过程,获取可被常用光学设计软件识别的数据,进而实现对有膜光学系统的分析。利用该模型对不同系统进行了分析优化,获得了一套可实现衍射受限成像的有膜系统方案,证明了基于能量守恒的等效工作界面的有效性,指导后续系统的装调,为多次反射系统的分析提供了一种方法。
- 王君金春水王丽萍郭本银喻波
- 关键词：光学设计极紫外光刻多层膜能量守恒
- 毛细管内径对Xe气放电极紫外光源的影响
- 2014年
- 极紫外光源功率是影响光源使用的关键参数,研究放电等离子体EUV光源等离子体时间特性,优化放电结构和光源功率具有重要意义。理论上计算了不同内径毛细管内等离子体压缩过程和收集效率,实验上采用极紫外探测器测量了毛细管内径对Xe气极紫外光源13.5nm(2%带宽)辐射输出时间特性的影响,分析了毛细管内径对等离子状态的影响。结合该系统光学收集系统设计参数、不同内径毛细管收集效率和极紫外探测器信号强度,给出了不同内径毛细管中间焦点处13.5nm(2%带宽)光功率比。结果表明:气压7Pa、电流28kA时,毛细管内径7mm条件下,光源中间焦点处光功率最优化。
- 徐强赵永蓬李小强李琦王骐
- 关键词：毛细管放电Z箍缩
