国家自然科学基金(59832050)
- 作品数：13 被引量：79H指数：5
- 相关作者：李林彭炜田永君胡文斐王天生更多>>
- 相关机构：中国科学院燕山大学四川大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电气工程电子电信更多>>
- 高气压反射式高能电子衍射仪监控脉冲激光外延氧化物薄膜被引量：5
- 2003年
- 在超高真空分子束外延 (MBE)生长技术中 ,反射式高能电子衍射仪 (RHEED)能实时显示半导体和金属外延生长过程 ,给出薄膜表面结构和平整度的信息 ,成为MBE必备的原位表面分析仪 .为了研究氧化物薄膜如高温超导(YBa2 Cu3 O7)、铁电薄膜 (Sr1 -xBaxTiO3 )及它们的同质和异质外延结构的生长机理 ,获得高质量的符合各种应用需要的氧化物多层薄膜结构 ,在常规的制备氧化物薄膜的脉冲激光沉积 (PLD)设备上配备适合在高气压制膜条件下使用的高气压反射式高能电子衍射仪 (high pressureRHEED) ,在国内首先实现氧化物薄膜生长过程的实时监控 .详细介绍了高气压反射式高能电子衍射仪的结构和特性 ,给出了碳酸锶 (SrTiO3 )基片上同质外延碳酸锶铌 (SrTiO3 +2 %Nb)和异质外延钇钡铜氧 (Y1 Ba2 Cu3 O7)薄膜生长过程中衍射图形和零级衍射强度震荡 .
- 陈莺飞彭炜李洁陈珂朱小红王萍曾光郑东宁李林
- 关键词：高温超导薄膜RHEED脉冲激光氧化物薄膜
- 微波滤波器的高温超导薄膜研制被引量：2
- 2002年
- 介绍适用于制备微波滤波器的高温超导薄膜YBa2Cu3O7_δ(YBCO)的激光沉积工艺和Tl2Ba2CaCu2O8(Tl-2212)的先驱膜制备及铊化工艺.讨论了基片选择的要求和薄膜的形貌、微结构与微波表面电阻的关系.
- 赵新杰李林雷冲田永君
- 关键词：微波滤波器高温超导体YBCO超导薄膜
- Ce:BaTiO_3自组织量子点制备及其非线性光学性质被引量：2
- 1999年
- 报道了激光淀积法制备复合氧化物Ce :BaTiO3 自组织量子点 ,利用原子力显微镜、X射线衍射观察了自组织量子点的生长过程及其结构 .分别给出了量子点的尺寸分布、高度分布和面密度 ;讨论了复合氧化物自组织量子点的生长机理 ;利用单光束Z扫描方法研究了自组织量子点的光学非线性折射率 ,并讨论了影响非线性效应增强的因素 .
- 师文生陈正豪刘宁宁吕惠宾周岳亮崔大复杨国桢
- 关键词：钛酸钡非线性光学性质自组织量子点铈
- 用熔融织构靶制备的YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜的微观组织结构
- 2003年
- 用脉冲激光蒸发熔融织构靶材在SrTiO3(001)单晶基片上制备了YBa2Cu3O7-δ超导薄膜。用X-射线衍射仪、透射电镜和原子力显微镜分别对薄膜的微观结构和表面形貌进行了分析。结果表明,薄膜呈c轴取向,薄膜中产生了一定数量的颗粒状Y2O3杂相,且具有择优取向,而靶材中所含的Y2BaCuO8相却没有在薄膜中形成,沉积温度升高,有利于犤001犦取向的Y2O3的形成,但不利于犤111犦取向Y2O3的形成,与传统的粉末烧结靶相比,用熔融织构靶制备YBa2Cu3O7-δ薄膜可以明显抑制薄膜表面颗粒的形成。
- 王天生田永君彭炜胡文斐李林
- 关键词：脉冲激光沉积超导薄膜
- 存储器用铁电薄膜及电极材料的研究被引量：3
- 2007年
- 铁电体独特的自发电极化双稳性质和非线性光学性质使其在光电子器件中得到广泛应用.为了实现器件的小型化和与微电子、光电子工艺兼容,铁电薄膜已成为一个研究热点.自发电极化的大小和取向以及外电场、缺陷和铁电薄膜/电极界面与自发电极化的交互作用决定了铁电薄膜的性质和服役行为.文章以铁电存储器和光电子器件应用为背景,选择了具有重大应用前景的Bi4-xLaxTi3O12(BLT)、SrBi2Ta2O9(SBT)、PbZrxTi1-xO3(PZT)和LiNbO3(LN)铁电薄膜以及相关的La(Sr,Co)O3(LSCO)和LaNiO3(LNO)等电极材料为研究对象,研究了缺陷电荷和电畴的交互作用和它们在交变外电场中的动力学行为,探明了铁电薄膜疲劳现象的物理本质;从晶格结构与缺陷的观察研究入手,探索了材料铁电性质的起源和优化材料铁电性质的途径;从铁电薄膜/电极界面结构与性质的研究入手,寻找更有效、更稳定的电极材料与结构,从而为器件应用打下了基础;在研究外电场对铁电薄膜生长机制影响的基础上,找到了利用外电场调控铁电薄膜结构的新途径,发展了新的、与半导体器件和光电子器件工艺兼容的制膜方法.
- 刘治国李爱东吴迪朱信华闵乃本
- 关键词：铁电薄膜自发极化
- Sb掺杂SrTiO_3透明导电薄膜的光电子能谱研究被引量：10
- 2002年
- 用X射线光电子能谱和同步辐射光电子能谱研究了Sb掺杂的钙钛矿型氧化物SrTi1 -xSbxO3(x =0 .0 5 ,0 .10 ,0 .15 ,0 .2 0 )薄膜的电子结构 .薄膜由紫外脉冲激光淀积在SrTiO3( 0 0 1)单晶衬底上 .该薄膜系列在可见光波段透明 ,透过率均超过 90 % .其导电性与掺杂浓度有关 ,当Sb掺杂浓度x =0 .0 5时 ,薄膜显示金属型导电性 .X射线光电子能谱和同步辐射光电子能谱研究结果表明 ,Sb掺杂在母化合物SrTiO3的禁带内引入了浅杂质能级和深杂质能级 .浅杂质能级上的退局域化电子离化到导带中会产生一定的传导电子 ,这是SrTi0 .95Sb0 .0 5O3薄膜金属型导电性的起源 .杂质带与导带中低的电子态密度限制了跃迁概率和光吸收 .大的禁带宽度 ,小的跃迁概率和弱的光吸收 。
- 崔大复王焕华戴守愚周岳亮陈正豪杨国桢刘凤琴奎热西钱海杰
- 关键词：光电子能谱钛酸锶SRTIO3透明导电薄膜
- 脉冲激光蒸发熔融织构靶制备的YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜
- 2002年
- 用脉冲激光蒸发熔融织构靶材在SrTiO3(0 0 1)单晶基片上制备了YBa2 Cu3O7 δ超导薄膜。用X射线衍射仪、透射电镜和原子力显微镜分别对薄膜的微观结构和表面形貌进行了分析。结果表明 ,薄膜呈c轴取向 ,薄膜中有一定数量的颗粒状Y2 O3杂相 ,且具有择优取向 ,而靶材中所含的Y2 BaCuO8相却没有在薄膜中形成。沉积温度升高 ,有利于 [0 0 1]取向 ,但不利于 [111]取向的Y2 O3形成。与传统的粉末烧结靶相比 ,用熔融织构靶制备YBa2 Cu3O7
- 王天生田永君彭炜胡文斐李林
- 关键词：超导薄膜YBA2CU3O7-Δ表面形貌
- Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3薄膜、Ba_(0.1)Sr_(0.9)TiO_3/YBa_2Cu_3O_(7-δ)异质薄膜的制备及介电性能研究被引量：6
- 2003年
- 铁电钛酸锶钡(BSTO)薄膜具备十分优越的铁电/介电性能,在可调谐微波器件和动态随机存储器(DRAM)方面显示出十分诱人的应用前景。而YBa2Cu3O7-δ(YBCO)高温超导薄膜作为其电极引入,明显降低了微波损耗,能够大大优化器件的性能。本文针对微波器件性能要求对比了各种常用基片的性能参数,描述了目前BSTO薄膜与BSTO/YBCO异质薄膜制备中存在的问题以及薄膜介电性能测试表征方法。利用脉冲激光沉积(PLD)技术成功制备出结构完整和质量较高的Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜。同时,在1.2°斜切LaAlO3基片上研制有Ba0.1 Sr0.9TiO3/YBa2Cu3O7-δ异质双层膜,在1MHz频率、77K温度条件下,其介电常数为1200,介电损耗为0.0045,±30V直流偏压时可调性达到60％,在液氮温度下表现出良好的应用前景。
- 朱小红彭炜胡文斐陈莺飞郑东宁李林朱建国
- 关键词：脉冲激光沉积钛酸锶钡
- 斜切基片上台阶流动生长的YBCO薄膜及BST/YBCO双层薄膜被引量：1
- 2006年
- 用脉冲激光沉积法在斜切(001)SrTiO3单晶基片上生长了c轴取向的YBa2Cu3O7-δ超导薄膜,在斜切(001)LaAlO3单晶基片上生长了Ba0.1Sr0.9TiO3/YBa2Cu3O7-δ双层薄膜,并用扫描电镜和透射电镜对薄膜组织进行了表征.结果表明,在1°～3°斜切的SrTiO3基片上生长的YBa2Cu3O7-δ薄膜,呈现台阶流动(step flow)到三维岛状生长的转变;而6°～15°斜切基片上生长的YBa2Cu3O7-δ薄膜为完全台阶流动生长.在1.2°斜切的LaAlO3基片上原位制备了良好异质外延生长的Ba0.1Sr0.9TiO3/YBa2Cu3O7-δ双层薄膜.在77 K,1 MHz频率和±30 V直流偏压下,测定了其电容-电压特性,确定其介电常数、可调谐性和品质因数分别为1200,60%和133.表明该Ba0.1Sr0.9TiO3薄膜可应用于在液氮温度下工作的可调谐微波器件.
- 王天生田永君彭炜漆汉宏李林
- 关键词：脉冲激光沉积
- 脉冲激光蒸发熔融织构靶制备YBa2Cu3O7-δ超导薄膜
- 用脉冲激光蒸发熔融织构靶材在SrTiO(001)单晶基片上制备了YBaCuO超导薄膜。用X射线衍射仪、透射电镜和原子力显微镜分别对薄膜的微观结构和表面形貌进行了分析。结果表明,薄膜呈c轴取向,薄膜中有一定数量的颗粒状YO...
- 王天生田永君彭炜胡文斐李林
- 关键词：脉冲激光沉积
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