山东省教育厅科技计划项目(03B53)
- 作品数：2 被引量：19H指数：2
- 相关作者：张玉林宋会英孔祥东王海峰张海丽更多>>
- 相关机构：山东大学山东轻工业学院更多>>
- 发文基金：山东省教育厅科技计划项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- LIGA工艺的发展及应用被引量：17
- 2004年
- 介绍了LIGA(lithographie,galvanoformungandabformung)技术以及在此基础上开发出来的准LIGA(like－LIGA)技术、SLIGA(sacrificialLIGA)、M2LIGA(movingmaskLIGA)技术和抗蚀剂回流LIGA(PRLIGA———photoresistreflowLIGA)技术等。利用这一系列LIGA技术,可以生成具有高深宽比的复杂微结构,如微尖阵列、球形曲面、活动部件等,能较好地满足MEMS发展的需要。最后指出了目前这些方法存在的缺陷。
- 孔祥东张玉林宋会英
- 关键词：光刻胶X射线微机电系统
- 基于uC/OS-II的微流体芯片嵌入式实时系统构建被引量：2
- 2006年
- 本文构建具有DNA聚合酶链式反应(PCR)和毛细管电泳(CE)分离检测功能的微流体芯片uC/OS-II嵌入式实时控制系统。本系统采用32位嵌入式微控制器ARM实现PCR扩增所需的闭环温度控制功能,毛细管电泳分离功能所需的高压电场自动调度功能。uC/OS-II嵌入式实时操作系统加强了系统的实时性。模糊免疫PID控制算法实现对温度的精确控制,其控制性能远优于常规PID控制器。试验结果表明本系统不但完全满足设计要求,而且与同功能的仪器平台相比,实时性强,不再需要昂贵的个人电脑进行控制运算和常用的DNA检测设备进行检测,实现了PCR-CE微流体芯片系统的低成本和小型化。
- 王海峰张海丽张玉林
- 关键词：ARM模糊免疫PID算法
