国家自然科学基金(60173061)
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- 静电式MEMS光开关新器件设计开发流程
- 2005年
- 在研究MEMS集成系统设计经验的基础上,简要论述了设计流程在MEMS设计中的重要性,提出静电式光开关新器件的开发流程,并以悬臂梁式MEMS光开关为例,进行了理论分析、静电-结构耦合场分析、材料选择、结构参数优化和控制电路设计等方面的研究.所提出的设计开发流程也适用于静电驱动的其他器件的开发,如RF-MEMS器件.
- 王凯赵新何维玮卢桂章
- 关键词：优化设计MEMS
- 离焦状态显微图像平面位置信息提取方法研究
- 在利用微操作机器人系统进行生物医学实验中,需要确定显微环境中微操作工具——微针的位置。由于成像模糊以及受到噪声的影响,显微图像平面位置的提取是很困难的。本文提出扫描线定位方法,是指在离焦状态下的显微图像中截取扫描线,根据...
- 刘俊玲赵新卢桂章
- 关键词：微操作机器人系统
- 文献传递
- 基于技能知识和过程虚拟的虚拟MEMS制造系统研究
- 本文提出了基于技能知识和过程虚拟的虚拟MEMS制造系统的概念,具体以光学光刻工艺为切人点详细分析了虚拟光刻环境原形系统及关键技术;通过微加速度计加工中对准偏差模拟的例子进一步说明了该系统的可行性。
- 孙广毅赵新卢桂章
- 关键词：MEMS虚拟制造光刻
- 文献传递
- 面向微操作应用的自动寻针、调焦和针尖定位算法及其实现
- 为了提高微操作机器人的自动化程度,本文提出了一套实时在线的方法,实现了自动寻针、自动调焦和自动识别针尖位置。在图像中选取一条扫描线,通过分析这条扫描线上的最小灰度值的变化,来实现微操作机器人的自动调焦和自动寻针;根据此类...
- 张闯卢桂章赵新
- 关键词：自动调焦显微图像微操作机器人
- 文献传递
- 微操作中基于全局视野的显微视频反馈的解决方案
- 本文针对在进行大范围的微操作中,显微视野远小于操作域的问题,提出了将局部显微图像通过采用样条小波结合改进的嵌入式零树编码进行压缩和拼接形成全局视野的解决方案,本研究为大范围显微图像中目标的自动定位及操作提供了崭新的手段。
- 尹昕卢桂章赵新
- 关键词：微操作小波嵌入式零树编码
- 文献传递
- MEMS设计系统中部件库的定义、描述与原形系统实现
- 针对MEMS设计中设计重用、机械性能评测等问题,提出了包括工艺模型、三维形状以及动态规律等重要信息的部件库系统。文中首先描述了MEMS设计系统中部件及部件库的定义和内容,并根据MEMS器件设计的特点,设计了易于重用管理的...
- 谭宜勇卢桂章赵新
- 关键词：微电子机械系统部件库虚拟现实
- 文献传递
- 静电式MEMS光开关新器件设计开发流程
- 在研究MEMS集成系统设计经验的基础上,简要论述了设计流程在MEMS设计中的重要性,提出静电式光开关新器件的开发流程,并以悬臂梁式MEMS光开关为例,进行了理论分析、静电-结构耦合场分析、材料选择、结构参数优化和控制电路...
- 王凯赵新何维玮卢桂章
- 关键词：优化设计MEMS
- 文献传递
- 微操作工具深度信息提取实验研究
- 本文实现了一种通过显微图像处理获取目标深度信息的方法,将此种方法应用于生物医学实验中常用的微操作工具——微针的深度信息提取,取得了较好的效果。文中着重论述了深度信息提取实验的设计及实验结果,并将此方法应用于微操作机器人系...
- 孙明竹赵新卢桂章
- 关键词：深度信息
- 文献传递
- MEMS虚拟运行中的运动规律求解器
- 介绍了基于部件库的MEMS设计系统中虚拟运行的运动规律求解器。提出了运行中规律求解和实时问题的解决方法,介绍了AI领域中问题自动求解的研究,把推理算法和编译技术结合在一起,描述了运动规律求解器的实现框架。
- 谭宜勇赵新卢桂章
- 关键词：微电子机械系统
- 文献传递
- MEMS虚拟运行中的运动规律求解器
- 2005年
- 介绍了基于部件库的MEMS设计系统中虚拟运行的运动规律求解器.提出了运行中规律求解和实时问题的解决方法,介绍了AI领域中问题自动求解的研究,把推理算法和编译技术结合在一起,描述了运动规律求解器的实现框架.
- 谭宜勇赵新卢桂章
- 关键词：微电子机械系统
