广东省工业攻关项目(C60109)
- 作品数：6 被引量：29H指数：4
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- 相关领域：理学机械工程自动化与计算机技术环境科学与工程更多>>
- 直接电压放大功率驱动的步进电机细分驱动技术研究被引量：3
- 2004年
- 基于电流矢量恒幅均匀旋转的步进电机细分技术,设计了直接电压放大功率驱动的细分驱动电路,采用软件生成表和人工修正相结合的方法,补偿了步距角与细分数的非线性关系.实现了步距角的均匀细分,细分角达到了每步0 025°.实验表明在负荷不大时,系统运行平稳而且细分精度高.
- 张建彬黄佐华杨怀张恒邓宏蛟
- 关键词：细分驱动步进电机电流矢量步距角电压放大
- 椭偏测厚仪确定薄膜真实厚度的分析被引量：5
- 2008年
- 用椭偏测厚仪可以测量薄膜一个周期内的厚度和折射率.本文从理论上分析了采用变入射角确定薄膜的真实厚度时,存在最大可测厚度周期数和最大可测薄膜真实厚度,同时用图形形象描述了周期数、厚度周期、一个周期内的厚度、真实厚度之间的关系及它们与入射角的关系.
- 张俊莲黄佐华朱映彬
- 自动椭偏测厚仪测量精确度的实验研究被引量：6
- 2004年
- 根据椭偏消光法和光度法原理,研制成功一台消光法和光度法兼容的自动椭偏测厚仪。本文介绍椭偏光度法的测量原理和仪器的测量过程及方法,并详细给出仪器测量精确度的实验研究结果。
- 黄佐华何振江杨冠玲傅强
- 关键词：椭偏仪光度法膜厚
- 测量薄膜折射率的光栅衍射干涉方法被引量：4
- 2004年
- 根据光的干涉理论,讨论了条纹周期数对测量薄膜折射率不确定性的影响,推导出干涉条纹错位量与薄膜折射率和厚度的关系式.由此提出采用光栅衍射干涉测量薄膜折射率的方法和实验方案.实验表明:该方法的干涉条纹测量精度达λ/10～λ/20,薄膜折射率测量精度可达0.01以上.
- 黄佐华何振江杨冠玲
- 关键词：折射率测量薄膜折射率
- 国内大气悬浮颗粒物检测分析方法被引量：5
- 2007年
- 介绍了国内大气悬浮颗粒物的检测分析方法,包括源解析方法及预处理技术,重点介绍仪器分析方法,并比较了它们的优缺点,同时对目前研究进展进行了综述。
- 陈超嫦区藏器黄佐华
- 关键词：大气悬浮颗粒物分析方法源解析预处理
- 椭圆偏振法数据处理软件设计被引量：8
- 2004年
- 以C++Builder6.0为开发工具,成功设计和编制了一套椭偏法数据处理软件,它具有求解透明膜厚度、折射率和金属复折射率以及绘制(n,d)～(Ψ,Δ)列线图的功能,求解膜厚和折射率精度分别达到0.01nm和0.001.实验表明该软件的求解结果是准确和可靠的.
- 黄佐华吴雪忠何振江杨冠玲
- 关键词：椭偏仪数据处理
