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上海市教委科研基金(05AZ79)
作品数:
2
被引量:3
H指数:1
相关作者:
冉峰
程东方
徐志平
沈伟星
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相关机构:
上海大学
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发文基金:
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相关领域:
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沈伟星
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徐志平
2篇
程东方
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冉峰
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微电子学与计...
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微计算机信息
年份
2篇
2007
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DC-DC转换器中功率沟槽MOSFET的优化设计
被引量:2
2007年
利用工艺和器件模拟软件TSUPREM-4和MEDICI,研究了工艺参数对DC-DC转换器中的功率沟槽MOSFET的通态电阻Ron、栅-漏电容Cgd的影响以及栅-漏电荷Qgd在开关过程中的变化,指出了在设计和工艺上减小通态电阻Ron和栅-漏电容Cgd,提高器件综合性能的途径。
沈伟星
冉峰
程东方
徐志平
关键词:
通态电阻
基于TCAD的低压沟槽MOSEFT栅漏电荷的研究
被引量:1
2007年
对于低压功率沟槽MOSFET的开关性能,栅-漏电荷Qgd是一个重要的参数。本文利用数值模拟软件TCAD(器件与工艺计算机辅助设计),研究了氧化层厚度、沟道杂质分布、外延层杂质浓度及沟槽深度等参数对功率沟槽MOSFET的栅-漏电容Cgd的影响以及栅-漏电荷Qgd在开关过程中的变化,指出了在工艺设计上减小栅-漏电容Cgd,降低器件优值,提高开关性能的途径。
沈伟星
冉峰
程东方
徐志平
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