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江苏省高校自然科学研究项目(10KJA140048)

作品数：1 被引量：11H指数：1
相关作者：陈林森申溯浦东林胡进更多>>
相关机构：苏州大学更多>>
发文基金：江苏省高校自然科学研究项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇调制器
  • 1篇透镜
  • 1篇透镜阵列
  • 1篇微透镜
  • 1篇微透镜阵列
  • 1篇空间光调制器
  • 1篇光调制
  • 1篇光调制器
  • 1篇光刻
  • 1篇光学
  • 1篇光学制造

机构

  • 1篇苏州大学

作者

  • 1篇胡进
  • 1篇浦东林
  • 1篇申溯
  • 1篇陈林森

传媒

  • 1篇中国激光

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种基于空间光调制器的微透镜阵列制备技术被引量：11
2012年
提出了一种基于空间光调制器的并行光刻制备微透镜阵列的技术。采用数字微反射镜器件输入光刻图形,结合热回流技术,制作任意结构和排布的微透镜阵列。无限远校正显微微缩光学系统的长焦深保证了深纹光刻的实现,热回流法提供了良好的表面光滑度。与传统逐层并行光刻和掩模曝光技术相比,提出的技术方案更加便捷灵活,特别适合制作特征尺寸在数微米至百微米的微透镜阵列器件。得到的微透镜阵列模版经过电铸转移为金属模具,利用紫外卷对卷纳米压印技术在柔性基底上制备微透镜阵列器件,在超薄液晶显示、有机发光二极管(OLED)照明等领域有广泛应用。
申溯浦东林胡进陈林森
关键词：光学制造微透镜阵列光刻空间光调制器
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