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江苏省高校自然科学研究项目(10KJA140048)
作品数:
1
被引量:11
H指数:1
相关作者:
陈林森
申溯
浦东林
胡进
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相关机构:
苏州大学
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发文基金:
江苏省高校自然科学研究项目
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
机械工程
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光调制器
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光学
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光学制造
机构
1篇
苏州大学
作者
1篇
胡进
1篇
浦东林
1篇
申溯
1篇
陈林森
传媒
1篇
中国激光
年份
1篇
2012
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一种基于空间光调制器的微透镜阵列制备技术
被引量:11
2012年
提出了一种基于空间光调制器的并行光刻制备微透镜阵列的技术。采用数字微反射镜器件输入光刻图形,结合热回流技术,制作任意结构和排布的微透镜阵列。无限远校正显微微缩光学系统的长焦深保证了深纹光刻的实现,热回流法提供了良好的表面光滑度。与传统逐层并行光刻和掩模曝光技术相比,提出的技术方案更加便捷灵活,特别适合制作特征尺寸在数微米至百微米的微透镜阵列器件。得到的微透镜阵列模版经过电铸转移为金属模具,利用紫外卷对卷纳米压印技术在柔性基底上制备微透镜阵列器件,在超薄液晶显示、有机发光二极管(OLED)照明等领域有广泛应用。
申溯
浦东林
胡进
陈林森
关键词:
光学制造
微透镜阵列
光刻
空间光调制器
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