国家科技重大专项(2012ZX04003071)
- 作品数：6 被引量：21H指数：3
- 相关作者：王昭黄军辉李朝辉陈博李岩更多>>
- 相关机构：西安交通大学陕西恒通智能机器有限公司清华大学更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：机械工程金属学及工艺核科学技术电子电信更多>>
- 基于相敏检波和位置探测器的位移检测系统被引量：9
- 2017年
- 为了实现对微小位移的测量,研制了一套基于单模光纤输出半导体激光器和2维位置敏感探测器的位移检测系统,可以有效地抑制环境光噪声。对半导体激光器的注入电流进行1k Hz的调制,实现输出光功率的调制。在信号处理电路中,采用相敏检波技术,解调探测器的输出交流信号,得出光斑能量中心位置,消除外界干扰。结果表明,测量精度优于1μm。这一结果对于多自由度误差检测是有帮助的。
- 黄沛陈博李岩
- 关键词：激光技术相敏检波
- 滚转角测量中直角棱镜相位损失及解决方法被引量：2
- 2014年
- 在利用正交偏振光外差干涉相位法测量数控机床滚转角误差的过程中,发现反射元件直角棱镜造成的相位损失对系统分辨率产生了不可忽略的影响,通过琼斯矩阵运算,量化了该相位损失对实验结果的影响,并进行了实验验证;同时,针对相位损失问题,提出了基于高反膜相长干涉原理的解决方法。结果表明:直角棱镜引入的相位损失使测量系统在灵敏区的放大倍数降低了40.7%,而基于平面反射镜的解决方案基本消除了相位损失对测量系统分辨率的影响;滚转角误差引起的相位变化幅度由原来的55.8°上升到使用平面反射镜时的349.2°,与参考实验数据358.5°的变化幅度十分接近,从而证明了应用高反膜相长干涉原理解决相位损失问题的可行性。该原理和方法同时为解决全反射导致的光学相位变化问题提供了理论依据和解决思路。
- 李朝辉王昭黄军辉汤善治郭俊杰
- 关键词：直角棱镜平面反射镜
- 机床空间误差测量及补偿技术被引量：4
- 2016年
- 1 三轴数控机床空间误差分析如图1所示，机床直线轴运动时有六个自由度，由于制造和安装存在误差，当直线轴沿导轨移动时，每个自由度都存在微小误差，导致三轴机床的三个直线轴运动共有18项误差，且三轴之间还存在三项误差关系，即垂直度误差，因此，一台三轴机床实际共有21项几何误差。
- 龚鑫袁成杰
- 关键词：三轴数控机床补偿技术垂直度误差误差分析
- 机床滚转角测量中敏感元件倾斜引起的误差分析被引量：5
- 2013年
- 为研究正交偏振光相位法测量机床滚转角过程中,机床的俯仰、偏摆运动误差对测量精度的影响,建立了测量光路数学模型,利用琼斯矩阵法计算光路中光的偏振态变换过程,并推导出被测滚转角与相位变化量间的测量公式。在此基础上,采用光的偏振和晶体光学理论,分析了测量过程中机床俯仰、偏摆运动误差造成的敏感元件(即1/2波片)倾斜所引起的测量误差。分析结果表明,1/2波片在倾斜角度小于2°的情况下所引起的测量误差小于0.1%,对测量精度影响较小,从而论证了正交偏振光相位法高精度测量机床滚转角的可行性。
- 钟丽红王昭汤善治高建民郭俊杰
- 直角棱镜的保偏反射膜设计及分析被引量：3
- 2015年
- 光波经过光学位移反射器后,由于全反射的存在,入射光的s偏振分量和p偏振分量在相位上将产生一个额外的常量差值,这将导致出射光相对于入射光的偏振状态发生变化。通过分析高反膜的反射机理及其结构特征,同时结合直角棱镜的几何结构,提出了基于高反膜膜系结构的直角棱镜保偏膜设计方法,该方法通过将设计膜系镀制到直角棱镜的两直角面上,使光束经过直角棱镜平行反射后,偏振状态保持不变。同时,对该方法进行了可行性研究和误差分析。结果表明,该方法结合目前成熟的高反膜制作工艺,理论可行,易于实现商业化应用;对于光波的小角度入射误差而言,方案所述镀膜直角棱镜的保偏特性表现出良好的稳定性。
- 李朝辉王昭黄军辉齐静雅余宝郭俊杰
- 关键词：光学设计高反膜直角棱镜
- 几种激光干涉仪精度校准方法的分析被引量：1
- 2014年
- 激光干涉仪的精度校准受到多种因素影响,是一个复杂的问题。本文讨论了三种激光干涉仪的精度校准方法。为了提高校准精度,应根据实际环境条件选择最合理的校准方法。
- 李立群蒋丽雁邓珂
- 关键词：激光干涉仪
