您的位置: 专家智库 > >

中央高校基本科研业务费专项资金(2009ZZ0017)

作品数:1 被引量:5H指数:1
相关作者:李国强杨慧更多>>
相关机构:华南理工大学更多>>
发文基金:中央高校基本科研业务费专项资金广东省重大科技专项国家自然科学基金更多>>
相关领域:理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇氮化
  • 1篇氮化物
  • 1篇化物
  • 1篇缓冲层
  • 1篇SI衬底
  • 1篇LED
  • 1篇LED器件
  • 1篇衬底

机构

  • 1篇华南理工大学

作者

  • 1篇杨慧
  • 1篇李国强

传媒

  • 1篇半导体光电

年份

  • 1篇2012
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
Si衬底氮化物LED器件的研究进展被引量:5
2012年
通过对比分析目前氮化物LED的三种主要衬底即蓝宝石、SiC与Si的技术特点,指出了发展Si衬底LED的重要意义。详细介绍了目前国内外Si衬底LED的研究现状,解析了在Si衬底上制备LED的多种新型技术,主要包括以提高薄膜沉积质量为目的的缓冲层技术、激光脱离技术、图案掩模技术、阳极氧化铝技术,以及以提高光提取率为宗旨的镜面结构技术和量子阱/量子点技术。这些新型技术与传统的MOCVD,HVPE,MBE等制备技术相结合,在很大程度上克服了Si衬底的不足,使Si衬底上氮化物LED展现出广阔的发展前景。
李国强杨慧
关键词:LEDSI衬底缓冲层
共1页<1>
聚类工具0