国家自然科学基金(59873015)
- 作品数：3 被引量：13H指数：3
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- 相关领域：理学化学工程电子电信更多>>
- 枝状聚硅烷的合成与表征被引量：6
- 2001年
- 用“顺点滴式”方法改进了单体合成 ,较原“全混式”提高了产率 ,降低了消耗 ;用Wurtz法以二氯硅烷和三氯硅烷为原料 ,经“预聚”和“混聚”
- 马洪苏志珊曾红梅彭志坚傅鹤鉴陈德本谢茂浓
- 关键词：二氯硅烷
- 聚硅烷用作紫外亚微米光刻胶被引量：3
- 2002年
- 讨论了用醇酸树脂或聚氨脂树脂为平坦层 ,几种不同的枝状和线状聚硅烷为抗蚀层 ,在玻璃基片上的XeCl准分子激光光刻效果 .由于聚硅烷与其它树脂相容性不好 ,作者将含氯聚硅烷作为添加剂添加到枝状聚硅烷中进行光刻实验 ,获得最小分辨率为 0 .5 μm的明暗线条等宽图形 ,对以不同聚硅烷相互作为添加剂 ,将其配方性能优化进行了有益的尝试 .
- 苏志珊马洪曾红梅彭志坚傅鹤鉴陈德本
- 关键词：聚硅烷光刻胶微细加工激光光刻添加剂
- 高分子量的枝状聚硅烷的合成与表征被引量：7
- 2002年
- 根据硅氢加成反应机理设计了“顺点滴式”工艺 ,高效、低耗地合成了甲基苯乙基二氯硅烷和甲基正己基二氯硅烷 .根据Wurtz还原偶联反应原理 ,采用“预聚”和“混聚”两种工艺分别合成枝状共聚硅烷 ,发现运用“预聚”工艺可以合成分子量很高的枝状聚硅烷 .
- 彭志坚司文捷傅鹤鉴曾红梅苗赫濯
- 关键词：预聚硅氢加成反应分子量
