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安徽省高校省级自然科学研究项目(kj20098119)
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
相关作者:
童云华
王海
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相关机构:
安徽工程大学
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发文基金:
安徽省高校省级自然科学研究项目
安徽省高等学校优秀青年人才基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
理学
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文献类型
2篇
中文期刊文章
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理学
主题
1篇
柔性铰链
1篇
类号
1篇
分类号
1篇
MEMS技术
1篇
残余应力
机构
2篇
安徽工程大学
作者
2篇
王海
2篇
童云华
传媒
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安徽工程科技...
1篇
安徽工程大学...
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1篇
2012
1篇
2010
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用于薄膜残余应力检测的微指针放大机构
被引量:1
2012年
在MEMS器件中应用的各类薄膜材料在制备过程所产生的残余应力,对器件的性能和可靠性具有较大的影响.设计了一种用于残余应力在线检测的柔性铰链放大机构,并对柔性铰链的结构尺寸与放大机构的角变形和转动刚度的关系进行理论建模,利用FEA软件对3种不同类型柔性铰链的转动刚度进行了数值仿真,为用于残余应力检测的微指针结构的放大机构的优化设计提供了前期研究基础.
童云华
王海
关键词:
柔性铰链
基于MEMS技术的薄膜残余应力检测技术
2010年
薄膜材料在制备中都会产生一定的残余应力,而薄膜中残余应力的大小对整个微机电系统的性能和可靠性具有很大的影响.讨论了几种典型的残余应力检测方法,并分析了各自的特点.在此基础上,提出了一种整合微指针结构驱动器和测量探针的新型残余应力测试方法.其核心是设计出一种基于扫描探针的薄膜残余应力在线检测系统.
王海
童云华
关键词:
残余应力
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