国家自然科学基金(50505037)
- 作品数：20 被引量：75H指数：5
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- 相关机构：西安交通大学兰州交通大学华南师范大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信理学电气工程更多>>
- 镁合金表面Ti-TiN复合镀层的阴极多弧离子制备与表征
- 表面强化、耐蚀处理对镁及其合金的应用至关重要．采用阴极多弧离子镀膜技术,在 AZ91C 镁合金基底上首次成功镀制了强结合力的以 Ti 为过渡层的 TiN 复合膜层,并利用高分辨扫描电子显微镜(SEM)、 X 射线能谱仪(...
- 王成龙范多旺刘红忠赵琳卢萍冷娜
- 关键词：镁合金
- 文献传递
- 高精度压印机热误差补偿中温度变量的辨识被引量：6
- 2006年
- 为了提高压印机在压印光刻工艺中的套刻对准精度,提出了采用因子分析方法来选取压印机热误差模型中的温度变量,根据变量之间的相关性分组后,再根据各变量与热误差之间的相关性在每一组中选取一个代表变量,最终将压印机上布置的温度传感器从15个减少到3个.在压印机温度测量关键点处建立了温度与模具在x、z方向热误差关系的数学模型,模型的热误差预测精度达到了98%以上.实验结果表明,该方法不仅保证了模型的精度,而且大大地减少了模型的计算时间,是一种在压印机热误差建模中选择温度测量关键点的有效方法.它不仅避免了热误差建模过程中的变量耦合问题,而且提高了模型的精确性,经过补偿,压印机的热误差在x、z方向都减小到200 nm以内.
- 严乐刘红忠卢秉恒丁玉成
- 关键词：压印光刻热误差补偿
- 基于纳米压印技术的光伏器件微三维构型研究被引量：2
- 2006年
- 将纳米压印技术应用到三明治结构光伏器件制作.采用具有三维微结构(平行波纹、离散孤岛)软模具,通过纳米压印将定制化微三维结构转印到电子给体层和电子受体层的异质结界面上,以增大异质结界面实际面积,提高光伏效率.通过仿真计算,模拟了通过微结构界面几何改变,提高有效面积内异质结界面实际接触面积,从而增大载流子浓度的过程,优化三维微结构几何特征.典型试验结果证明了光伏器件异质结三维微结构界面对光伏效率的良好效果.
- 尹磊刘红忠丁玉成卢秉恒
- 关键词：纳米压印光伏器件
- 叶绿体长延时(τ>5s)荧光成分产生机理的实验验证
- 2006年
- 延迟荧光中各成分产生机理的研究对延迟荧光的应用具有重要指导意义。从电荷复合理论出发,对叶绿体光诱导延迟荧光的产生机制进行了简化的理论模拟,得出了延迟荧光的衰减动力学方程,并推断延迟荧光衰减动力学方程中的常数C为延迟荧光中的更长延时成分。其产生机理是由于PSⅠ中的电子回流到PSⅡ与P680+复合产生激发态的P680*退激发产生,并从实验上成功地证明了延迟荧光的长延时(τ>5 s)成分来源的这种电子回流、复合和退激发过程。
- 王锦辉鲁怀伟范多旺邢达钱隆王成龙
- 关键词：延迟荧光叶绿体
- 基于分步式压印光刻的激光干涉仪纳米级测量及误差研究被引量：1
- 2006年
- 针对在未做隔离保护处理的环境中,基于Michelson干涉原理的激光干涉仪测量系统存在严重的干扰误差,不适合分步式压印光刻纳米级对准测量的要求.采用Edlen公式的分析及计算,不仅在理论上揭示出环境温度、湿度、气压等变化对激光干涉仪测量准确度的影响,而且证明影响测量准确度的最大干扰源是空气流动的结果.通过气流隔离措施和系统测量反馈校正控制器,能够实时补偿激光干涉仪两路信号的相差.最终,测量漂移误差在10min内由13nm降低到5nm以内,满足压印光刻在100mm行程中达到20nm定位准确度要求.
- 刘红忠丁玉成卢秉恒王莉
- 关键词：激光干涉仪
- 红外光谱法测定农药中吡虫啉含量被引量：24
- 2006年
- 通常使用高效液相色谱法检测农药中有效成分吡虫啉的含量。文章采用红外光谱法直接测定农药中吡虫啉含量，样品使用KBr压片法。吡虫啉标准品和商品吡虫啉农药的红外光谱对照实验表明：吡虫啉在939．2cm^-1处的吸收峰不受农药中其他成分的干扰，可以选择此峰为定量分析波数；吡虫啉红外光谱在947～925．8cm^-1处的峰面积与其净含量满足线性方程：Area=1．3665×10^-1＋2．37×10^-2×c，相关系数r=0．99953。结论：利用红外光谱快速检测农药中有效成分吡虫啉含量的方法是可行的，可以替代常规的理化分析，能够满足快速分析的需要。
- 马国欣王成龙范多旺邢达钱隆王锦辉刘颂豪
- 关键词：红外光谱吡虫啉农药
- 不同形貌衬底上铝诱导poly-Si薄膜的制备及表征
- 2009年
- 以表面平整、粗糙的玻璃为衬底,在不同衬底温度下直流磁控溅射沉积a-Si薄膜,制备成glass/a-Si/Al样品,经退火处理制备了poly-Si薄膜。分别采用Raman光谱、XRD光谱等手段研究了衬底粗糙度以及衬底温度对铝诱导晶化(AIC)制备的poly-Si品质的影响。Raman光谱表明:所有样品在521 cm-1都有尖锐、对称的Raman峰出现,表明样品完全结晶;XRD结果表明:poly-Si在(111)晶向择优生长;XRD在(111)处的半高宽值(FWHM)表明:玻璃衬底的形貌和a-Si沉积的温度对poly-Si的品质产生影响。200℃可能是AIC制备poly-Si薄膜时沉积a-Si时的最适温度。
- 王成龙范多旺刘红忠张福甲邢达刘颂豪
- 关键词：粗糙度衬底温度晶化AIC
- 730nm迟荧光光谱及产生机理
- 利用多种光谱学测量手段研究了叶绿体延迟荧光光谱中730 nm峰的产生机制。不同浓度下叶绿体延迟荧光光谱实验结果表明:初始随浓度的增加,延迟荧光光谱中685和730 nm成分强度均增强;当浓度增加到7．8μg·mL-1时,...
- 王成龙范多旺邢达
- 关键词：叶绿体延迟荧光重吸收
- 文献传递
- 压印光刻中紫外光诱导阻蚀胶固化控制计算被引量：2
- 2007年
- 针对压印过程中两类基本的复型缺陷,从实验分析中得出其主要原因是曝光后阻蚀胶的固化程度难以控制.通过分析紫外曝光光源与阻蚀胶的光谱匹配性,得出使得阻蚀胶固化的有效波长为365 nm;对光诱导紫外曝光过程中紫外光的传播分析,建立了阻蚀胶中光强分布的数学模型;用粘度来表征阻蚀胶的固化程度,建立了阻蚀胶中的粘度分布函数.分析了阻蚀胶对365 nm紫外光的吸收率以及膜厚对阻蚀胶中光强分布均匀性的影响,得出复型后阻蚀胶凸起处的光强分布均匀性对吸收率及膜厚更为敏感的结论.
- 陈立峰卢秉恒
- 关键词：压印光刻粘度
- 纳米压印光刻中的多步定位研究被引量：5
- 2006年
- 在步进重复式压印光刻中,为了避免承片台支撑绞链结构间隙及微观姿态调整往返运动导致的表面材料不规则形变,建立了单调、无振荡、多步逼近目标位置的宏微两级驱动系统,并提出了径向基函数-比例、积分、微分(RBF-PID)及单调位置控制算法.控制结果证明,使用具有强鲁棒性的RBF-PID非线性控制模式,使得驱动过程呈现无超调、无振荡的单调过程,因此避免了由于系统微观振荡调节而引入的间隙误差和材料表面形变误差.此控制方式可使步进重复式压印系统的定位精度在满足100 mm行程驱动的前提下,达到小于10 nm的定位技术指标.
- 刘红忠丁玉成卢秉恒王莉邱志惠
- 关键词：纳米压印光刻非线性控制
