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广西壮族自治区科学研究与技术开发计划(0991009-9)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：岳文彭志坚郭文利梁彤翔付志强更多>>
相关机构：中国地质大学（北京）清华大学更多>>
发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金教育部科学技术研究重点项目广西壮族自治区科学研究与技术开发计划更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇选择性吸收涂...
  • 1篇太阳能
  • 1篇太阳能选择性...
  • 1篇涂层
  • 1篇工艺参
  • 1篇工艺参数

机构

  • 1篇清华大学
  • 1篇中国地质大学...

作者

  • 1篇王成彪
  • 1篇付志强
  • 1篇梁彤翔
  • 1篇郭文利
  • 1篇彭志坚
  • 1篇岳文

传媒

  • 1篇太阳能学报

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Al-AlN太阳能选择性吸收涂层的中频溅射工艺研究被引量：1
2011年
探讨了AlN膜和渐变Al-AlN选择性吸收涂层的中频溅射技术,结果表明:增大铝靶电流或减小氩气流量有助于改善AlN反应溅射的工艺稳定性;随着氮气流量的增加,AlN膜的N/Al原子比增大,减小氩气流量或增大铝靶电流对制备满足理想化学计量比的AlN膜有利;AlN膜的致密性随氮气流量和铝靶电流的增大而改善,但氩气流量对AlN致密性没有明显影响;制备的渐变Al-AlN选择性吸收涂层可见光反射率低于6%。光谱选择性较好。
付志强王成彪岳文彭志坚郭文利梁彤翔
关键词：选择性吸收涂层工艺参数
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