国家杰出青年科学基金(51205066)
- 作品数：11 被引量：13H指数：2
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- 相关机构：广东工业大学仲恺农业工程学院更多>>
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- 相关领域：金属学及工艺机械工程更多>>
- 模具钢微细蚀刻速率的研究
- 2013年
- 目的研究模具钢微细蚀刻中，蚀刻速率的变化规律。方法采用蚀刻液喷淋加工方式，对掩膜的模具钢表面进行蚀刻．考察掩膜间隙、蚀刻液啧淋压力、蚀刻液温度对蚀刻速率的影响。结果蚀刻速率随掩膜间隙尺寸的增大而增加，当掩膜尺寸大于150μm时，蚀刻速率增长较快；较大的喷淋压力有利于蚀刻液的更新和蚀刻产物的排除，使得蚀刻反应充分，蚀刻速率较高；温度在一定范围内升高，蚀刻液活性增大，蚀刻效率提高，蚀刻速率增大。结论最佳工艺条件为：掩膜间隙尺寸150～200μm，蚀刻液喷淋压力1．0～1．4MPa．蚀刻液温度35～40℃。在此加工条件下．模具钢的蚀刻速率高，加工效率高．同时可以保证较好的蚀刻尺寸精度。
- 宋卿张永俊于兆勤王冠
- 关键词：模具钢
- 模具钢微细蚀刻的侧蚀研究及其工艺优化
- 2013年
- 目的研究HNO3浓度、喷淋压力、掩膜间隙、加工时间对侧蚀量的影响规律。方法设计正交实验,测定蚀刻后的侧蚀量,采用极差分析、方差分析法对侧蚀量进行分析,通过验证性实验进行验证。结果侧蚀量随加工时间的延长以及喷淋压力、加工时间的增大而增大,随HNO3浓度的增大而减小。侧蚀量最小的工艺是:HNO3浓度为1.8 mol/L,喷淋压力为0.2 MPa,掩膜间隙为50μm,蚀刻时间为2min。结论加工时间对侧蚀量有显著性影响,喷淋压力对侧蚀量影响较大,其次是掩膜间隙和HNO3浓度。验证性试验证明最优工艺方案可行。
- 黄红光郭钟宁王冠
- 关键词：模具钢正交实验
- 直流和直流脉冲电解制备表面多孔结构对比研究被引量：1
- 2015年
- 采用直流和脉冲电源电解加工不锈钢多孔表面,研究两种极化条件下的材料溶解过程及表面孔洞生长规律。结果发现:直流电解加工的材料溶解主要受浓差极化的控制,而脉冲电解加工的材料溶解主要受电化学极化的控制;直流电解加工孔洞的生长速度更快、表面腐蚀率更高,但孔洞数量少且均匀性差;而脉冲电源能增强电化学极化、抑制浓差极化,使孔洞的成核速度大于其生长速度,所以孔洞数量更多、均匀性更好,但加工效率比直流略低。
- 韦鸿钰王冠郭钟宁
- 关键词：电解加工多孔表面直流
- 化学刻蚀和微电铸联合工艺制备微流控芯片金属模具的研究
- 对化学刻蚀和微电铸联合工艺制备微流控芯片金属模具进行了研究。比较了化学刻蚀前后阴极掩膜基片的表面形貌,结果表明化学刻蚀能进一步去除残胶,并且为获取高深宽比电铸结构提供条件。通过化学刻蚀和微电铸联合工艺试验,获得表面组织均...
- 郑文书郭钟宁陈日许俊江树镇梁远标
- 关键词：微电铸微流控芯片
- 文献传递
- 基于初次电流分布的电解微刻蚀均匀性研究
- 2014年
- 在电解刻蚀中,阳极表面的电流密度由装置的几何尺寸、加工参数、极化情况等决定,其中,几何要素决定加工间隙的初次电流密度分布,主要影响刻蚀结果。采用有限单元法数值模拟不同尺寸阴极、辅助电极、加工间隙等对加工区域初次电流分布的影响,确定了均匀性随各几何因素的变化趋势。
- 韦鸿钰郭钟宁王冠
- 关键词：电流密度均匀性
- 喷淋蚀刻模具钢的蚀刻深度研究
- 2013年
- 采用喷淋式蚀刻机,以FeCl3基蚀刻液对模具钢进行喷淋蚀刻,通过测定不同蚀刻液温度、不同喷淋压力下的蚀刻深度,考察了几个独立因素对蚀刻深度的影响,得出蚀刻深度的规律性变化:蚀刻深度增长速率随蚀刻液温度的升高而增大,随喷淋压力的增大而先增大,后逐渐减小。分析了蚀刻深度呈此种变化规律的原因。
- 宋卿于兆勤张永俊王冠
- 微热管内壁微结构电化学加工机床控制系统被引量：3
- 2014年
- 内表面具有大量非连续强化传热微结构的微热管,因传热性能突出而成为新型微电子器件散热的关键零件。针对微热管内表面非连续微结构加工中的技术难题,提出基于变截面多线螺旋电极的微细电解加工新方法,并自主研制了一台利用Lab VIEW进行运动控制的微细电解加工机床。介绍了机床的结构、原理、控制系统硬件设计和软件设计。该微细电解加工机床可实现套筒类金属零件的内表面微结构低成本、高效率、高表面质量的电解加工成型。
- 王亚坤王冠王梅梅郭钟宁
- 关键词：微热管微结构
- 基于视觉识别的电解加工多孔表面评定方法研究
- 2014年
- 针对电解加工多孔表面特点,提出表面形貌评价指标,获取多孔表面图像并对其进行预处理,提取腐蚀率、不均匀度、灰度等特征参数,揭示各特征参数与电解加工多孔表面形貌的相关性,并通过实例证明该方法适用于电解加工多孔表面的测量。
- 韦鸿钰王冠郭钟宁
- 关键词：多孔表面电解视觉识别
- 模具钢大面积微结构的微细电解和化学蚀刻的比较研究被引量：1
- 2014年
- 针对手机后盖表面微结构的特点,采用微细电解和微细蚀刻的方法,对手机后盖压制模具的表面微结构加工进行工艺探索。设计了掩膜图形,研制了微细电解加工的纳秒脉冲电源。利用自行研制的多功能微细特种加工系统,采用阳极掩膜的方法进行微细电解加工,采用改进后的蚀刻机进行模具钢微细蚀刻加工。通过优化工艺,在模具钢材料上加工出尺寸为500μm的阵列微结构,并注塑出手机后盖,达到项目要求。
- 黄红光郭钟宁孙涛涛宋卿
- 关键词：微细电解蚀刻
- 模具钢表面阵列微结构蚀刻工艺的实验研究被引量：5
- 2014年
- 通过喷淋蚀刻实验研究了模具钢微细蚀刻加工时,工件掩膜间隙、蚀刻液喷淋压力和加工时间对蚀刻深度的影响。蚀刻深度随掩膜间隙的蚀刻尺寸、加工时间的增加而增大,随蚀刻液喷淋压力的增大呈先增大后减小趋势。这归因于掩膜间隙和蚀刻液喷淋压力的增大加快了蚀刻液的更新,使蚀刻反应充分并有利于反应杂质的排除。但是过大的喷淋压力减小了蚀刻液驻留时间,阻碍了蚀刻深度的增加。
- 黄红光郭钟宁王冠宋卿
