中国博士后科学基金(20080430405)
- 作品数：1 被引量：2H指数：1
- 相关作者：王泽温罗毅张李冲熊兵更多>>
- 相关机构：清华大学更多>>
- 发文基金：中国博士后科学基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术更多>>
- 基于铝诱导结晶的多晶硅薄膜材料结构优化被引量：2
- 2009年
- 基于铝诱导结晶化(AIC)方法,研究了不同溅射材料结构对多晶硅薄膜形成过程和材料特性的影响.首先利用射频溅射Si和直流溅射Al的方法,分别在普通玻璃衬底上沉积Si/Al/Glass,Al/Si/Glass,Si/Al/L/Si/Al/Glass三种不同结构的薄膜材料.采用相同的低温退火(500℃)工艺,对上述薄膜进行了多组时间下的退火Al诱导结晶处理.对退火处理后的样品去除表面多余Al之后进行了X射线衍射、电子显微镜表面观察和霍耳迁移率测试,分析其晶体质量特性和电学特性.结果表明,在足够长时间下,3种结构均可成功实现AIC多晶硅薄膜,其中采用多重周期性结构的薄膜结晶速度最快,并得到更优的结晶效果.
- 王泽温熊兵张李冲罗毅
- 关键词：多晶硅薄膜材料结构溅射
