云南省自然科学基金(2002C0008Z)
- 作品数：2 被引量：6H指数：2
- 相关作者：杨培志王忠华普朝光李振豪李琳更多>>
- 相关机构：昆明物理研究所更多>>
- 发文基金：云南省自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信更多>>
- 用于非制冷热释电红外探测器的PZT铁电薄膜研究被引量：2
- 2006年
- 采用溶胶-凝胶和射频磁控溅射相结合的方法制备了PZT铁电薄膜．用溶胶-凝胶法制备一层PZT薄膜作为籽晶层,在衬底PZT(seed layer)／Pt／Ti／SiO2／Si上用射频磁控溅射过量10％Pb的Pb(ZrxTi1-x)O3(x=0．3)陶瓷靶生长厚500nm的PZT铁电薄膜．采用在450℃预退火,575℃后退火的快速分级退火方法对PZT铁电薄膜进行热处理．PZT铁电薄膜获得了较好的热释电性能,热释电系数、介电常数、介电损耗和探测度优值因子分别为P=2．3×10-8C·cm-2·K-1,ε=500,tanδ=0．02,Fd=0．94×10-5Pa-0.5．
- 王忠华李振豪普朝光杨培志林猷慎
- 关键词：PZT
- 快速退火对PZT铁电薄膜结构的影响被引量：5
- 2006年
- 采用射频磁控溅射方法在Pt/Ti/S iO2/S i衬底上制备出(PZT)铁电薄膜,在550℃、600℃、650℃、700℃几个温度下对薄膜进行了快速退火热处理,并在退火处理后用X射线衍射、原子力显微镜和热释电系数测试系统研究了PZT铁电薄膜的薄膜结构、表面形貌及热释电性能。在650℃快速退火后,PZT铁电薄膜已经形成较好的钙钛矿相结构,并获得了较好的热释电性能,热释电系数达到1.5×10-8C.cm-2.k-1。
- 李振豪王忠华李琳普朝光杨培志
- 关键词：锆钛酸铅铁电薄膜快速退火X射线衍射原子力显微镜
