国家高技术研究发展计划(2006AA04Z319)
- 作品数：3 被引量：11H指数：2
- 相关作者：郑丽金建东罗毅杨昆施云波更多>>
- 相关机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所哈尔滨理工大学云南师范大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划黑龙江省研究生创新科研项目哈尔滨市科技创新人才研究专项资金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 集成加热功能双模块湿敏电容衬底材料研究被引量：3
- 2010年
- 为实现在高空高湿环境下对湿度的准确测量,研制出一种集成加热功能的湿敏电容,理论分析、计算仿真及试验验证三方面针对这种加热功能湿敏电容的衬底材料进行研究。
- 金建东郑丽司良有王明伟
- 关键词：衬底材料湿敏电容
- MEMS技术在集成加热功能的双模块湿度传感器中应用研究被引量：1
- 2010年
- 在需要温湿度变化剧烈的环境中,湿度准确测量的最佳方案是采用单片集成的具有除湿功能的湿度传感器,本文采用MEMS(Micro-electro-mechanical system)技术,研制出集成加热元件的双模块湿度传感器,可以实现湿度测量中交替加热除湿和交替测试功能,具有测试响应时间短、除湿功耗低、响应快速的特点。
- 金建东郑丽王震
- 关键词：MEMS湿度传感器
- 用于探空仪的加热式湿度传感器及测量电路被引量：8
- 2014年
- 针对探空仪湿度传感器在高空低温、高湿恶劣环境下容易结露,湿度波动大、电路板分布电容对测量结果有影响等问题,研究了具有蛇形加热器的平板夹心电容式湿度传感器及其工艺制备方法,并设计了测量电路。采用微机电系统(MEMS)加工工艺设计了加热式湿度传感器,通过对传感器进行有限元分析,确定了传感器表面加热区域温度分布情况,得出了环境温度、加热功率与加热温度三者之间的函数关系。提出一种基于电容充放电及比较法的湿度测量电路,从而有效地抑制了温度漂移和零点漂移,减小了寄生电容对测量结果的影响。地面实验结果显示:湿度传感器灵敏度约为2.3%RH·pF-1,迟滞约为0.7%F·S,重复性约为1.9%,测量总不确定度约为4%,时间常数约为0.5s。本文研究的湿度传感器及其测量电路具有很好的温度稳定性,能够在低温环境下正常工作。
- 罗毅施云波杨昆商春雪渠立亮
- 关键词：探空仪湿度传感器
