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山东省自然科学基金(J08LI04)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：李平张世玉李清山张志峰马自侠更多>>
相关机构：中国人民解放军海军航空工程学院鲁东大学更多>>
发文基金：山东省自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇结构和光学特...
  • 1篇结构特性
  • 1篇激光分子束外...
  • 1篇光学
  • 1篇光学特性
  • 1篇光致
  • 1篇光致发光
  • 1篇发光
  • 1篇分子束
  • 1篇分子束外延
  • 1篇ZNO薄膜
  • 1篇L-MBE

机构

  • 1篇鲁东大学
  • 1篇中国人民解放...

作者

  • 1篇张立春
  • 1篇马自侠
  • 1篇张志峰
  • 1篇李清山
  • 1篇张世玉
  • 1篇李平

传媒

  • 1篇新技术新工艺

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
应用L-MBE方法制备ZnO薄膜的结构和光学特性被引量：1
2010年
用激光分子束外延(Laser Molecular Beam Epitaxy,L-MBE)设备在p型Si(111)衬底上制备了不同衬底温度和不同氧压的ZnO薄膜,用X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)分别对薄膜的结构和形貌进行了分析,用He-Cd激光(325nm)激发的光致发光测试系统对薄膜进行了荧光光谱分析。研究发现,在衬底温度为400℃,氧压1Pa左右所制备的ZnO薄膜表面比较均匀致密,晶粒生长较充分,有较高的结晶质量和发光强度。ZnO薄膜的近带边发射与薄膜的结晶质量和化学配比均有关系。
张世玉李清山张立春李平马自侠张志峰
关键词：激光分子束外延ZNO薄膜结构特性光致发光
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共1页<1>
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