国家自然科学基金(51175229)
- 作品数：20 被引量：50H指数：4
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- 相关机构：江南大学安徽建筑大学南京理工大学更多>>
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- 相关领域：金属学及工艺电子电信一般工业技术化学工程更多>>
- 低压射流辅助激光刻蚀加工工艺参数的数值仿真预测研究
- 2017年
- 低压射流辅助激光刻蚀加工过程中涉及到的加工参数较多,合理选取参数对加工效果的影响至关重要。针对低压射流辅助激光刻蚀加工的实际情况,建立了该加工工艺的热传导方程及有限元数值仿真模型。以碳化硅陶瓷的复合刻蚀加工为例,通过数值计算与实验结果的对比验证了数值仿真方法的可行性。在此基础上,介绍了采用数值仿真方法进行工艺参数对刻蚀截面形状影响预测研究的思路。为研究各参数对加工效果的影响或选择合适的加工工艺参数提供了一种快捷准确的方法。
- 陈雪辉张相炎宋伟袁根福
- 关键词：工艺参数
- 低压水射流辅助激光刻蚀加工多晶硅工艺参数的优化被引量：1
- 2016年
- 利用低压水射流辅助激光刻蚀加工技术对多晶硅进行刻蚀加工,通过正交试验分析了激光脉宽、频率、输入电流和水射流速度对加工表面质量的影响,得到了最终优化工艺参数。结果表明:最终优化工艺参数为低压水射流速度24m·s^(-1)、激光脉宽1.1ms、频率40Hz、电流180A,此时槽体截面锥度、表面粗糙度、截面深度分别为1.2°,2.63μm,1.88mm,槽体表面质量较好,边缘无开裂、无熔渣、无重铸层等缺陷。
- 陈雪辉张相炎张崇天袁根福张程
- 关键词：多晶硅
- 激光刻蚀石英玻璃研究进展综述
- 石英玻璃因其优异物化属性而被广泛应用于激光核聚变系统、半导体光刻设备、各类光学设备,以及生物、医学、化学检测领域。激光作为一种应用广泛的加工技术,近年来激光技术在石英玻璃加工领域一直是研究的热点,目前采用高能激光束加工石...
- 丛启东袁根福章辰郭百澄
- 关键词：激光技术激光刻蚀石英玻璃
- 低压射流辅助激光刻蚀的试验研究及数值模拟
- 低压射流辅助激光刻蚀加工技术是在传统激光加工技术基础上拓展出来的一种较新的复合加工方法，能够有效改善硬脆性材料加工表面微裂纹及熔渣较多的缺陷，提高产品的合格率和加工质量，深入研究该技术的加工工艺，具有重要的现实意义。为此...
- 陈雪辉
- 关键词：激光刻蚀
- 工艺参数对水射流激光复合切割Al2O3陶瓷重铸层厚度的影响
- 普通激光切割AlO陶瓷存在重铸层较厚的问题,为改善重铸层厚度,提出了水射流激光复合切割AlO陶瓷的方法,水射流的引入可大大减小重铸层厚度,并通过对脉宽、激光脉冲能量、重复频率、扫描速度、水射流流速参数的优化,得到了较薄的...
- 陈春映袁根福陆平卫
- 关键词：激光切割AL2O3陶瓷水射流
- 文献传递
- 水射流辅助激光刻蚀Al_2O_3陶瓷的试验研究被引量：7
- 2013年
- 设计了一套用于实验的水射流辅助激光刻蚀加工装置,将激光和介质射流冲蚀加工相结合,研究激光加工参数和射流加工参数对试样材料激光复合刻蚀量和截面质量的影响。实验结果表明,激光工艺参数和射流加工参数对工件加工表面的质量优劣有着决定性的影响;该复合加工工艺可以清除加工时产生的90%以上熔渣,能有效地降低材料表面粗糙度,使得加工出的盲孔成为较为规则的倒三角(▽)形。
- 陈雪辉袁根福郑伟
- 关键词：激光加工激光刻蚀
- 水射流辅助激光切割碳纤维复合材料的实验研究被引量：11
- 2018年
- 针对碳纤维复合材料（CFRP）在激光切割时引起的热损伤等问题,提出一种水射流辅助切割CFRP的方法。对比分析了CFRP激光直接切割和水射流辅助激光切割的效果,讨论了射流速度对加工效果的影响。结果表明,该加工方法可以大大减小切缝宽度和热影响区大小,显著改善加工效果。在一定范围内,随着水射流流速增加,上表面切缝宽度先增大后减小,激光能量损失越来越多,材料下表面切缝宽度越来越小,水射流辅助激光切割的热影响区尺寸更小,且切割内壁形貌较直接切割更好。
- 章辰袁根福丛启东郭百澄
- 关键词：激光激光切割碳纤维复合材料水射流
- 低压水射流激光复合切割Al_2O_3陶瓷的研究被引量：9
- 2014年
- 针对激光切割Al2O3陶瓷存在热裂纹、大量熔渣等问题,提出了低压水射流激光复合切割陶瓷技术,并将这种工艺与普通激光切割进行了对比,结果表明低压水射流激光复合切割陶瓷可以大大减少陶瓷切缝的熔渣、避免热裂纹。主要研究了辅助气体压力、激光脉冲能量和激光重复频率对水射流激光复合切割Al2O3陶瓷质量的影响规律,发现水射流存在时,辅助气体压力主要起到吹除切割头处水珠的作用,激光脉冲能量或激光重复频率增大、烧蚀材料增多,当烧蚀材料不能及时被射流冲除就形成了熔渣的累积,影响陶瓷切割质量。
- 陈春映袁根福王金华
- 关键词：熔渣
- 射流参数对水射流激光复合多道切割Al_2O_3陶瓷质量影响规律的研究
- 2017年
- 对水射流辅助激光复合多道切割Al_2O_3陶瓷工艺进行了实验研究,并探讨了在激光参数和水射流的其它参数一定的情况下,分析水射流速度对水射流激光复合多道切割Al_2O_3陶瓷切缝质量的影响。研究结果表明:Al_2O_3陶瓷的切缝质量随着水射流流速的增大先提高后下降,存在一个最佳的射流速度使得切缝质量最高,试验中最佳水射流速度16m/s。
- 丛启东袁根福章辰郭百澄张大明
- 关键词：熔渣锥度粗糙度
- 水射流对于激光刻蚀晶体硅影响的试验研究被引量：1
- 2014年
- 对比研究硅晶体激光直接刻蚀与水射流辅助激光复合刻蚀表面形貌,发现水射流与激光复合刻蚀能够有效去除重铸层并减少裂纹缺陷。研究了水射流流量对刻蚀微观形貌及刻槽深度的影响,结果表明,适当提高水射流的流速有利于改善刻蚀槽体的质量,同时水射流流速在一定程度上会影响到槽体深度,使槽体深度随着流速的提高出现先降后升的规律。最后对水射流的入射角与槽体截面形状关系进行了初步探讨性研究。
- 张崇天袁根福陈雪辉张程王海云
- 关键词：水射流硅晶体
