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国家自然科学基金(60786013)

作品数：1 被引量：7H指数：1
相关作者：荆海王龙彦马仙梅马凯王中健更多>>
相关机构：北方液晶工程研究开发中心中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院研究生院更多>>
发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇性能研究
  • 1篇氧化锌薄膜
  • 1篇射线衍射
  • 1篇光致
  • 1篇光致发光
  • 1篇发光
  • 1篇X射线衍射
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇中国科学院研...
  • 1篇中国科学院长...
  • 1篇北方液晶工程...

作者

  • 1篇王中健
  • 1篇马凯
  • 1篇马仙梅
  • 1篇王龙彦
  • 1篇荆海

传媒

  • 1篇液晶与显示

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
ZnO薄膜及ZnO-TFT的性能研究被引量：7
2009年
采用MOCVD法在SiNx绝缘薄膜上生长了ZnO薄膜,通过X射线衍射与光致发光光谱表征了ZnO薄膜的质量。其结果是:XRD特征峰半高全宽0.176°,光致发光仅有381.1nm的发光峰,展现了ZnO薄膜光电特性的优势。制备了底栅型ZnO薄膜晶体管,测试表明器件具有明显的场效应特性及饱和特性。
马仙梅荆海马凯王龙彦王中健
关键词：氧化锌薄膜X射线衍射光致发光
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