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山西省回国留学人员科研经费资助项目(2007-31)

作品数：1 被引量：3H指数：1
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相关领域：化学工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 1篇动力学模型
  • 1篇气相沉积
  • 1篇离子
  • 1篇力学模型
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米AL
  • 1篇纳米粉
  • 1篇纳米粉体
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇粉体
  • 1篇高频等离子体

机构

  • 1篇太原理工大学

作者

  • 1篇王俊文

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
RF-PCVD法制备纳米Al_2O_3粉体动力学模型被引量：3
2007年
本文采用RF-PCVD法,分析了富氧高频等离子反应器内反应物AlCl3的高温氧化反应、产物Al2O3气相成核及晶粒长大过程,认为晶粒的长大过程为制备过程的主要步骤。采用Brownian碰撞理论,经合理简化,建立了晶粒长大的动力学模型。模型分析表明:在富氧高频等离子反应器内,传递因素决定Al2O3纳米晶粒的最终粒径大小及其分布。在实验操作条件下,模型数值解与实验结果相接近,并对模型计算结果的偏大进行了初步分析。
王俊文
关键词：高频等离子体化学气相沉积纳米粉体
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