福建省自然科学基金(A0510011)
- 作品数：4 被引量：7H指数：2
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- 相关机构：福州大学中国科学院更多>>
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- 用于超高密度存储的硅基纳机电探针阵列器件研制
- 2005年
- 本文研制一种用于超高密度数据存储的硅基纳机电探针阵列器件.简要介绍了器件结构及其工作原理,并通过理论计算和有限元模拟相结合的方法实现器件的结构设计.并运用先进的微纳加工工艺技术制造出相应的器件,具体包括:先进的纳米硅尖制造技术、高电隔离性的加热电阻制作技术及其纳机电探针上加热电阻与压阻传感器集成技术等.室温下,测得该器件加热电阻器的阻值为(500～600) Ω,压阻传感器的阻值为(6～8) KΩ,在2×10-7 N预力作用于针尖处时,悬臂梁上的压阻器件灵敏度(电阻相对变化)达到了3.12×10-4,满足纳米数据坑读出对于灵敏度要求;纳米针尖曲率半径小于40 nm,满足器件高密度存储对于硅尖要求.建立一套适用于该纳机电探针的电热理论模型,利用该模型计算的结果与器件电热测试结果相吻合.
- 杨尊先于映李昕欣
- MEMS高量程加速度传感器压膜阻尼效果分析被引量：3
- 2006年
- 为实现一种高量程加速度传感器的近临界阻尼设计以提高其输出性能,采用有限元方法分别研究了阻尼带隙宽度、阻尼介质特性及温度等对器件冲击性能的影响。结果表明:器件冲击响应是受迫振动与悬梁固有振动叠加;随着阻尼带隙变宽,悬梁固有振动渐突显,峰值电压增加;阻尼介质粘滞系数越大,其峰值电压越低;介质温度对器件输出特性影响不大。在常温空气介质中,过载保护曲面平移距离为0.5μm时,阻尼比为0.24,近临界阻尼,输出电压高达77.9mV。
- 杨尊先李昕欣
- 关键词：电子技术MEMS高量程加速度传感器
- 曲面保护高量程加速度传感器阻尼特性研究被引量：4
- 2006年
- 利用有限元模拟方法,对一种高量程MEMS加速度计进行10万g正弦加速度脉冲下的动态冲击响应分析。首先,建立适用于该器件曲面阻尼的分段近似叠加理论模型;随后,采用ANSYS有限元模拟技术分别研究器件阻尼带隙宽度及其阻尼介质特性对器件动态冲击响应特性的影响。器件动态冲击响应实际上是受迫振动与传感器悬臂梁固有频率振动的叠加。当阻尼带隙较小时,输出结果表现为冲击载荷下的受迫振动响应;随着阻尼带隙变宽,悬臂梁固有频率振动渐突显,响应峰值电压也近线性增加,而峰值电压所对应时间则非线性减小。在其它条件相同情况下,阻尼介质粘滞系数越大,响应输出曲线越光滑,但其峰值电压也相应越低。在空气阻尼介质中,过载保护曲面的平移距离控制在0.5～0.65μm范围内,以获取较好的动态响应效果。
- 杨尊先李昕欣于映
- 关键词：冲击响应
- 适用于H.264/AVC的去块效应滤波器硬件设计
- 2008年
- 设计了一种适用于 H.264/AVC 标准的去块效应滤波器,提出了将对外部存储器的存取操作与滤波计算并行执行的电路结构,利用相邻4×4像素块的数据相关性组织滤波顺序,使片内 SRAM读取次数减半,通过增加片内 SRAM,完成下一待滤波宏块左相邻块像素数据的复用,从而大大减少了滤波处理的周期数。
- 李程达杨尊先
- 关键词：去块效应滤波H.264/AVC
