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国家重点基础研究发展计划(2011CB013102)

作品数:7 被引量:23H指数:3
相关作者:潘国顺周艳龚桦郭丹汪嘉澍更多>>
相关机构:清华大学清华大学研究院深圳大学更多>>
发文基金:国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国际科技合作与交流专项项目更多>>
相关领域:电气工程机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>

文献类型

  • 7篇中文期刊文章

领域

  • 3篇电气工程
  • 2篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇理学

主题

  • 4篇化学机械抛光
  • 4篇机械抛光
  • 2篇电池
  • 2篇电极
  • 2篇质子
  • 2篇质子交换
  • 2篇质子交换膜
  • 2篇质子交换膜燃...
  • 2篇质子交换膜燃...
  • 2篇燃料电池
  • 2篇转印
  • 2篇膜电极
  • 1篇低K介质
  • 1篇电催化
  • 1篇电催化活性
  • 1篇电化学
  • 1篇电化学性能
  • 1篇电路
  • 1篇电路制造
  • 1篇电子能

机构

  • 6篇清华大学
  • 5篇清华大学研究...
  • 1篇深圳大学

作者

  • 6篇潘国顺
  • 2篇梁晓璐
  • 2篇汪嘉澍
  • 2篇周艳
  • 2篇郭丹
  • 2篇龚桦
  • 1篇邹春莉
  • 1篇罗桂海
  • 1篇雒建斌
  • 1篇汤皎宁
  • 1篇顾忠华
  • 1篇徐莉
  • 1篇王宁
  • 1篇郭玉龙
  • 1篇史晓磊

传媒

  • 2篇电源技术
  • 1篇光学精密工程
  • 1篇润滑与密封
  • 1篇电子元件与材...
  • 1篇纳米技术与精...
  • 1篇Journa...

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2015
  • 3篇2014
  • 1篇2013
  • 1篇2012
7 条 记 录,以下是 1-7
排序方式:
转印法制备质子交换膜燃料电池膜电极组件被引量:1
2014年
转印法是一种间接将催化层涂布在质子交换膜上的膜电极组件制备方法,其制备工艺简单,周期短,且制备过程中质子交换膜不与任何溶剂接触,有效避免了膜的溶胀问题。采用刮刀涂布技术,将催化剂浆料均匀地涂布于转印膜上,调节刮刀间隙与刮刀运行速度可有效地控制金属催化剂的载量。扫描电子显微镜法(SEM)测试表明转印后的催化层表面形貌完整、孔隙分布均匀,膜电极各组件之间结合紧密且厚度一致。将该工艺制备的膜电极组装成单电池,测试结果表明:在阴、阳极Pt载量分别为0.463、0.264 mg/cm2条件下,以空气作为阴极反应气体的单电池在常压下的最大功率密度可达0.75 W/cm2。
汪嘉澍潘国顺梁晓璐林广川郭丹
关键词:质子交换膜燃料电池膜电极
LED蓝宝石衬底抛光表面原子台阶形貌及其周期性研究被引量:11
2017年
LED蓝宝石衬底的表面质量会极大影响到后续外延质量,进而影响到LED器件性能。蓝宝石研磨片经Al2O3磨粒粗抛液、SiO2磨粒精抛液下进行化学机械抛光(CMP),最终表面经原子力显微镜(AFM)所测表面粗糙度达到0.101nm,获得亚纳米级粗糙度超光滑表面,并呈现出原子台阶形貌。同时,通过使用Zygo表面形貌仪、AFM观察蓝宝石从研磨片经Al2O3粗抛液、SiO2精抛液抛光后的表面变化,阐述蓝宝石表面原子台阶形貌的形成原因,提出蓝宝石原子级超光滑表面形成的CMP去除机理。通过控制蓝宝石抛光中的工艺条件,获得a-a型、a-b型两种不同周期规律性的台阶形貌表面,并探讨不同周期规律性台阶形貌的形成机理。
周艳潘国顺史晓磊龚桦邹春莉汤皎宁
关键词:化学机械抛光蓝宝石
布线图案导致的集成电路平坦化损伤研究被引量:1
2014年
使用化学机械抛光(CMP)的方式,对商用芯片进行拆解,获得了不同制造工艺的铜/低k介质互连结构样品。通过对所获得的32 nm制造工艺的铜/低k介质互连结构样品进行进一步的化学机械抛光实验来研究抛光过程中出现的损伤。实验结果发现,抛光压力过大和过小分别会造成宏观缺陷和导线腐蚀,互连线的分布会导致导线自身的碟型缺陷、不同图案布线结构交界两侧明显的表面高度差异以及同一图案布线结构内部的表面周期性高度起伏。这种表面高度差异可以通过预补偿的方式得到一定的改善。
郭玉龙郭丹潘国顺雒建斌
关键词:化学机械抛光集成电路制造低K介质互连结构
抛光液组分对硬盘盘基片超光滑表面抛光的影响被引量:6
2012年
在硬盘盘基片的最终抛光中,研究SiO2溶胶颗粒、氧化剂、络合剂和润滑剂对盘基片Ni-P材料抛光性能的变化规律,获得较高的材料去除速率(MRR)和原子级光滑表面,以满足下一代硬盘盘基片制造的更高要求.结果表明,采用平均粒径25 nm的SiO2溶胶颗粒,易减少微划痕等缺陷;以过氧化氢为氧化剂,可大幅提高MRR;加入有机酸络合剂后,MRR显著增大,其中含有水杨酸的抛光液MRR最大,并讨论不同络合剂对盘基片去除的影响机理;丙三醇润滑剂的引入,使抛光中摩擦系数减小,盘基片的表面粗糙度得到明显降低.采用原子力显微镜(AFM)、光学显微镜和Chapman MP2000+表面形貌仪来考察盘基片抛光后的表面质量,基于抛光液各组分的影响作用,最终获得表面粗糙度Ra为0.08 nm的盘基片表面,且MRR达到0.132μm/min.
周艳罗桂海潘国顺
关键词:络合剂
Synthesis of dual-doped non-precious metal electrocatalysts and their electrocatalytic activity for oxygen reduction reaction
2014年
The pyrolyzed carbon supported ferrum polypyrrole(Fe-N/C) catalysts are synthesized with or without selected dopants, p-toluenesulfonic acid(TsOH), by a facile thermal annealing approach at desired temperature for optimizing their activity for the oxygen reduction reaction(ORR) in O2-saturated 0.1 mol/L KOH solution. The electrochemical techniques such as cyclic voltammetry(CV) and rotating disk electrode(RDE) are employed with the Koutecky-Levich theory to quantitatively obtain the ORR kinetic constants and the reaction mechanisms. It is found that catalysts doped with TsOH show significantly improved ORR activity relative to the TsOH-free one. The average electron transfer numbers for the catalyzed ORR are determined to be 3.899 and 3.098, respectively, for the catalysts with and without TsOH-doping. The heat-treatment is found to be a necessary step for catalyst activity improvement, and the catalyst pyrolyzed at 600℃ gives the best ORR activity. An onset potential and the potential at the current density of-1.5 mA/cm2 for TsOH-doped catalyst after pyrolysis are 30 mV and 170 mV, which are more positive than those without pyrolized. Furthermore, the catalyst doped with TsOH shows higher tolerance to methanol compared with commercial Pt/C catalyst in 0.1 mol/L KOH. To understand this TsOH doping and pyrolyzed effect, X-ray diffraction(XRD), scanning electron microscope(SEM) and X-ray photoelectron spectroscopy(XPS) are used to characterize these catalysts in terms of their structure and composition. XPS results indicate that the pyrrolic-N groups are the most active sites, a finding that is supported by the correspondence between changes in pyridinic-N content and ORR activity that occur with changing temperature. Sulfur species are also structurally bound to carbon in the forms of C–Sn–C, an additional beneficial factor for the ORR.
Li XuGuoshun PanXiaolu LiangGuihai LuoChunli ZouGaopan Chen
关键词:电催化活性双掺杂非贵金属X射线光电子能谱
铜化学机械抛光中复合缓蚀剂的作用机制被引量:5
2013年
将复合缓蚀剂(苯并三氮唑(BTAH)和十二烷基磺酸钠(SDS))应用到铜的化学机械抛光液中,考察BTAH和SDS对铜表面化学机械抛光的影响,并探讨BTAH和SDS在铜表面的作用机制;分析BTAH和SDS抛光液中络合剂和表面活性剂对铜化学机械抛光性能的影响。结果表明:BTAH和SDS在铜表面形成了致密的Cu-BTAH和Cu-SDS保护膜,是优良的铜缓蚀剂。当以磷酸氢二胺(AHP)为络合剂,羟乙基纤维素(HEC)为表面活性剂时,优化后的BTAH和SDS抛光液取得了低至Ra0.2 nm的表面粗糙度,同时发现HEC有降低纳米颗粒残留的作用。
龚桦王宁顾忠华潘国顺
关键词:复合缓蚀剂化学机械抛光
催化剂浆料分散对转印法制备PEMFC性能的影响
2015年
转印法是有效制备膜电极的方法之一,具有界面电阻小、可大规模生产等优点。采用乙二醇作为催化剂浆料的增稠剂、去离子水和异丙醇作为分散溶剂,实现膜电极的低温完全转印。利用超声波清洗机、磁力搅拌器和均质机,以不同的处理方式对浆料进行分散,考察了浆料的分散方式及分散程度对质子交换膜燃料电池性能的影响。通过场发射电子显微镜(FE-SEM)对催化层的表面形貌进行表征。结果表明:用均质机处理过的催化层颗粒分布更加均匀,利用极化曲线、循环伏安法(CV)和交流阻抗谱(EIS)表征不同浆料制备膜电极的电化学性能。极化曲线、CV曲线和EIS谱均表明用均质机处理4 h的浆料对应的单电池性能最佳、欧姆电阻及电荷迁移电阻最低且Pt的利用率最大。
梁晓璐潘国顺徐莉汪嘉澍
关键词:质子交换膜燃料电池膜电极电化学性能
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