教育部“新世纪优秀人才支持计划”(NEC-04-0266)
- 作品数：2 被引量：9H指数：1
- 相关作者：褚金奎杜小振朴相镐张海军韩冰峰更多>>
- 相关机构：教育部大连理工大学更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金辽宁省科学技术基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 环境振动能收集系统的微型压电悬臂梁设计与制作被引量：8
- 2008年
- 研制长寿稳定电源已经成为微型无线传感网络中的关键技术之一,现有的化学电池容量有限,需要不断的逐个更换耗尽的电池,难以满足无线传感网的实际应用。本文提出利用压电材料的机电耦合特性收集环境振动能,该类型微电源有望成为MEMS提供长期电能。首先分析了利用压电材料收集振动能的原理,对微型悬臂梁结构的设计进行了简单的分析,重点介绍了用MEMS工艺加工微型悬臂梁的工艺流程。悬臂梁结构采用体硅和面硅加工工艺相结合,体硅工艺包括湿法和干法刻蚀硅及表面层结构,金属Pt层刻蚀等,面硅工艺包括溅射金属薄膜和利用Sol-Gel方法在Si/SiO2/Ti/Pt衬底上制作锆钛酸铅(Pb(Zr0.52Ti0.48)O3,PZT)压电薄膜等。经过反复工艺实验研究,确定一套稳定的微型压电能源的制作工艺流程。
- 杜小振褚金奎张海军朴相镐
- 关键词：微电源PZTMEMS
- 收集环境振动能微压电悬臂梁的制作工艺与测试被引量：1
- 2011年
- 研制长寿稳定电源已经成为微型无线传感网络中亟待解决的关键技术问题,现有的化学电池容量有限,需要不断地逐个更换耗尽的电池,难以满足无线传感网络的实际应用.提出了利用压电材料的机电耦合特性收集环境振动能,设计了一种用来收集环境振动能的压电微悬臂梁结构,介绍了用MEMS工艺制作带质量块的硅基压电悬臂梁微电源的工艺流程.质量块可以降低器件的谐振频率,并提高输出电功率.最后,对制作的微压电悬臂梁进行了固有频率测试以及静态和准静态标定实验.
- 褚金奎李涛韩冰峰熊叶胜
- 关键词：微电源MEMSPZT
