江西省自然科学基金(CA200408071)
- 作品数：3 被引量：5H指数：1
- 相关作者：龚勇清刘智怀李平贵罗宁宁高益庆更多>>
- 相关机构：南昌航空大学更多>>
- 发文基金：江西省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程更多>>
- 一种二元光学元件阵列微芯模的工艺设计研究被引量：5
- 2009年
- 提出一种二元光学元件微型芯模的工艺设计方法,该方法利用了数字调制器件(DMD芯片)的空间光调制特性。首先通过编程设计出二元光学器件的相关软件,以实现菲涅耳透镜、达曼光栅、龙基光栅等各种矢量图形,经过14倍精缩光学系统,将由DMD芯片生成的二元光学器件图像成像在涂有光刻胶的基板上。经显影、定影和坚膜后,再利用电化学蚀刻,得到一种二元光学阵列的微芯模。这种二元光学的芯模制作方法可以方便、高效、低成本地用于制作微光学器件。
- 龚勇清刘智怀高益庆罗宁宁李平贵
- 关键词：光刻技术二元光学元件蚀刻
- 微光学元件光刻对焦方法
- 2009年
- 文章提出了三种微光学元件光刻对焦方法,并用它们对北京化学试剂研究所生产的BP-218紫外正型光刻胶的分辨率进行了测试,得到了满意的结果。
- 刘智怀龚勇清李平贵
- 关键词：微光学光刻焦平面光刻胶
- 基于铬膜玻璃的光刻精缩系统的研究与实现
- 2010年
- 文章提出了一种利用数字微反射镜进行数字掩模光刻成像,以铬膜玻璃为基板,在其上面制作二元光学掩模。将设计好的CAD电脑图形以后缀为bmp文件格式输出,导入到基于DMD的数字掩模成像系统,经过曝光、显影、定影、蚀刻及去胶工艺即可得到需要的掩模。此掩模可用于精缩投影系统,在晶圆片上得到比掩模图形小得多的图案,以达到高分辨率的要求。
- 徐冉冉颜丽华龚勇清
- 关键词：二元光学元件
