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国家重点实验室开放基金(51456020205ZK0301)
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表面处理对p-GaN欧姆接触特性的影响
2007年
研究了王水溶液对p-GaN欧姆接触特性的作用.在蒸镀欧姆电极之前采用王水溶液对表面进行处理,使p-GaN的比接触电阻从8×10-3降低到2.9×10-4Ω·cm2.利用X射线光电子谱(XPS)对p-GaN表面氧含量进行分析,结果表明王水可以有效地去除p-GaN表面的氧化物,从而改善p-GaN的欧姆接触特性.
赵德胜
张书明
朱建军
赵德刚
段俐宏
张宝顺
杨辉
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P-GAN
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