国家自然科学基金(69876009)
- 作品数：3 被引量：18H指数：2
- 相关作者：杨恒鲍敏杭孙远程沈绍群武国英更多>>
- 相关机构：复旦大学中国科学院北京大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信更多>>
- 微电子机械器件压膜空气阻尼的一般化雷诺方程(英文)被引量：7
- 2002年
- 推导建立了一个用于微电子机械 (MEMS)器件压膜空气阻尼的一般化微分方程 .该方程很好地解决了分析有限尺寸孔板的边界和孔板的厚度对压膜阻尼的影响的困难 .结合边界条件求解该方程可以得到各种压膜阻尼结构中的阻尼压强分布和阻尼力 .以长条板为例得到了有限宽度和有限厚度孔板压膜阻尼的压强分布和阻尼力的解析解 ,在非孔板的条件下该解退化为一般传统雷诺方程的解 ,而在无限大薄孔板的极端条件下 ,该解也与传统雷诺方程在此条件下的解相一致 ,进一步证明了该方程的正确性 .因此 ,该一般化的雷诺方程为
- 鲍敏杭孙远程杨恒王跃林
- 关键词：雷诺方程微分方程
- 测定硅各向异性腐蚀速率分布的新方法被引量：10
- 2000年
- 介绍了一种测定硅各向异性腐蚀速率分布的新方法 .硅各向异性腐蚀速率三维分布可由一系列晶面上的二维腐蚀速率分布表示 .利用深反应离子刻蚀技术 ( DRIE)在 {0 mn}硅片上制作出侧壁垂直于硅片表面的矩形槽 ,测量槽宽度在腐蚀前后的变化 ,就可测定各 {0 mn}面上的二维腐蚀速率分布 .将二维腐蚀速率分布组合在一起就得到了三维腐蚀速率分布 .由于 DRIE制作的垂直侧壁深度大 ,可耐受较长时间的各向异性腐蚀 ,所以只需使用一般的显微镜就能得到准确的结果 .实验得到了 40 % KOH和 2 5% TMAH中 {n1 0 }和 {n1 1
- 杨恒鲍敏杭沈绍群李昕欣张大成武国英
- 关键词：硅各向异性腐蚀深反应离子刻蚀速率分布
- 微机械槽板结构空气压膜阻尼的修正雷诺方程(英文)被引量：1
- 2006年
- 推导出了一个适用于槽板结构压膜空气阻尼的微分方程.该方程与传统雷诺方程的区别是在雷诺方程的左边增加了一个用以表示气体从槽流出所引起的阻尼效应的修正项,并考虑了槽中有限气流通道长度的端头修正.在适当的边界条件下,利用此方程可以求解槽板压膜阻尼的压强分布、阻尼力和阻尼力系数.该槽板结构压膜空气阻尼的微分方程对槽板的厚度和横向尺度没有限制,为分析有限尺寸和有限厚度槽板的压膜空气阻尼提供了一个有用的方法.
- 孙远程鲍敏杭杨恒黄宜平
- 关键词：微电子机械系统槽板雷诺方程
