国家自然科学基金(10333010)
- 作品数：6 被引量：35H指数：4
- 相关作者：陈波齐立红尼启良巩岩陈淑妍更多>>
- 相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院研究生院吉林大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金应用光学国家重点实验室开放基金中国科学院知识创新工程更多>>
- 相关领域：理学机械工程一般工业技术更多>>
- 光学散射法表面特征的测量与分析被引量：14
- 2006年
- 光学表面评价和检测对光学研究,尤其是短波段光学研究具有重要的意义。介绍了短波段掠入射表面散射线性模型,并根据这个理论,建立了软X射线掠入射表面逆散射模型。利用这个数学模型对由软X射线反射率计测得的数据进行计算,得到通过散射测量所获得的样品表面特征值,所测结果与WYKO测量结果吻合。测量结果表明:掠入射软X射线光学散射法能够较为精确地计算出光滑表面粗糙度和表面自相关函数,可以很直观地反应出光学表面形貌特征。
- 陈淑妍陈淑妍齐立红
- 关键词：表面散射软X射线掠入射
- EUV波段CCD相机及其空间分辨率测试被引量：1
- 2005年
- 研究了EUV波段CCD相机及其空间分辨率测试。EUV波段相机由荧光屏、MCP像管、光锥和可见光CCD构成,CCD像元大小为14μm,像元数2 048×2 048。在北京同步辐射装置光束线软X射线光学实验束线站3W1B上,利用透射网栅法对相机进行了空间分辨率测试,结果显示这种结构的CCD相机在17.1 nm波长处,空间分辨率达到19μm,相当于极限分辨率为26 lp/mm。
- 巩岩宋谦叶彬浔
- 关键词：EUVMCPCCD空间分辨率
- 激光等离子体软X射线光源光谱强度测量方法被引量：5
- 2004年
- 提出了一种新的探测和测量激光等离子体软X射线源光谱强度的方法。该方法使用通道电子倍增器和定标过的硅光电二极管为探测器 ,前者是非标准探测器 ,后者为标准探测器。应用电荷灵敏前置放大器测量探测器产生的电量 ,并以高分辨率的光谱仪为分光元件 ,在已知光栅效率、通道电子倍增器增益、硅光电二极管能量响应的条件下 。
- 尼启良巩岩陈波曹健林
- 关键词：激光等离子体光谱强度测量方法脉冲信号
- 水靶激光等离子体光源11～20nm波段光谱实验被引量：8
- 2005年
- 实验以水为靶材,Nd:YAG激光器为照射激光构成激光等离子体光源,产生软X射线极紫外辐射。利用McPHERSON247型掠入射软X射线真空紫外单色仪、AXUV100硅光电二极管,测量了11～20nm波段水靶激光等离子体光源的光谱。实验表明,在11～20nm波段水靶激光等离子体光源存在多条线谱,均由水中氧离子电子跃迁产生。所用单色仪光谱分辨率Δλ≤0.075nm,波长扫描间隔0.5nm。另外,采用在喷嘴处加热的办法,很好地解决了水进入真空系统后绝热膨胀与蒸发过程中温度骤降而结冰的问题,有效地抑制了喷射距离缩短,克服了等离子体对喷嘴腐蚀严重的问题。
- 齐立红李忠芳尼启良陈波
- 关键词：光谱测量软X射线
- 使用气体靶激光等离子体光源的软X射线反射率计被引量：10
- 2004年
- 建立了一台使用气体靶激光等离子体光源的软X射线反射率计,并给出了使用该反射率计测量软X射线多层膜反射率的方法。与金属靶等离子体光源相比,由于使用了气体靶等离子体光源,该反射率计具有低碎屑、可长期连续运行等优点。针对单色仪的二级光谱对反射率测量结果产生的影响,提出了修正方法。并用此方法对实测的工作波长为17.1nm软X射线多层膜的反射率曲线进行了修正。
- 尼启良齐立红陈波
- 关键词：多层膜激光等离子体
- 软X射线掠入射光学散射特性的研究
- 2006年
- 介绍了短波段掠入射表面散射线性模型,并且根据这个理论,分析计算了不同的波长和掠射角对软X射线掠入射光学散射特性的影响。随着波长的减小、掠射角的加大,软X射线掠入射光学散射现象越来越严重。
- 陈淑妍张大威陈波
- 关键词：软X射线波长
