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表面物理与化学国家重点实验室开放基金(90000460200503)
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
相关作者:
鲜晓斌
张川
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表面物理与化学国家重点实验室开放基金
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2011
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Zr/Nb薄膜材料的制备及界面结构研究
被引量:3
2011年
通过直流磁控溅射法在单晶Si(100)基底上制备了Zr/Nb/Si薄膜材料。X射线衍射(XRD)研究表明Zr薄膜以多晶形式存在,而Nb薄膜则形成了(110)晶面择优生长。薄膜中Zr和Nb晶粒大小分别为14,6 nm。扫描电镜研究表明形成的薄膜表面平整光滑,没有微裂纹存在。扫描俄歇电子能谱及X射线光电子能谱的研究表明,Zr/Nb/Si薄膜样品具有清晰的界面结构。在薄膜表面形成了致密的氧化层物种,而在膜层内部少量氧则以吸附态形式存在。
姚文清
张立武
牟豪杰
张川
严谨
朱永法
杨江荣
刘柯钊
鲜晓斌
关键词:
磁控溅射法
扫描电镜
X射线衍射
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