国家自然科学基金(10575025)
- 作品数：4 被引量：25H指数：3
- 相关作者：杨士勤田修波巩春志崔江涛黄永宪更多>>
- 相关机构：哈尔滨工业大学香港城市大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”哈尔滨市学科后备带头人基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺一般工业技术理学更多>>
- 阴极弧径向不同位置膜层性能分布规律被引量：5
- 2009年
- 利用阴极弧沉积的方法在201不锈钢基体上制备了TiN薄膜,研究了阴极弧径向不同位置大颗粒、膜厚以及膜层性能的分布规律。分别采用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分析了膜层的相结构、膜层的表面形貌和截面形貌。研究了镀膜试样和基体在3.5%(质量分数)NaCl溶液中的腐蚀行为,并利用电化学方法分析其抗腐蚀性能,并采用球-盘式摩擦磨损、划痕测试以及微小压痕等方法测试了径向不同位置沉积的TiN薄膜摩擦磨损性能、膜基结合力以及硬度。结果表明,靠近靶材中心的位置,膜层的硬度、厚度最大,电化学腐蚀电位最高,在径向夹角20°处的膜层厚度、硬度最小。在靠近出气位置侧沉积的TiN薄膜大颗粒数目较多,造成表面缺陷增加,TiN薄膜的抗腐蚀性能下降。靠近弧源中心位置沉积的膜层摩擦磨损系数较大,两侧处的膜层摩擦系数较小,膜基结合力与表面形貌和膜层厚度有很大关系。
- 魏永强巩春志田修波杨士勤
- 关键词：多弧离子镀TIN电化学腐蚀
- 偏压对磁控溅射沉积铌膜表面性能的影响被引量：10
- 2008年
- 利用直流磁控溅射在钢基体上沉积了铌薄膜,分别采用扫描电镜、原子力显微镜、X射线衍射仪和电化学分析仪研究了不同偏压下铌膜表面形貌、相结构以及耐蚀性。实验结果表明:在低于300 V偏压下,偏压的变化并没有使得铌膜的晶体结构发生改变,但对铌膜的表面形貌影响很大。随着偏压的提高,Nb膜表面先变得平坦,晶粒细小致密,孔隙减少;偏压升到300 V时,晶粒粗大,膜层变得疏松。偏压的增大使得铌膜的显微硬度和结合力相应提高。150 V偏压下沉积得到的铌膜耐蚀性最为出色,这主要缘于其较低的孔隙率和高的膜基结合力。
- 崔江涛田修波杨士勤
- 关键词：偏压耐蚀性
- 塑料瓶壁体等离子体增阻技术
- 单一的塑料薄膜或者塑料容器由于自身的透气性难以满足一些气体敏感产品的包装。利用等离子体化学气相沉积(PECVD)的方法在聚酯(PET)薄膜和聚酯瓶壁体沉积制备了碳薄膜。利用X射线光电子能谱议(XPS)、光学透过率测试仪、...
- 田修波李景杨士勤
- 关键词：等离子体化学气相沉积
- 文献传递
- 脉冲偏压上升沿特性对等离子体浸没离子注入鞘层扩展动力学的影响被引量：8
- 2007年
- 等离子体浸没离子注入(PIII)是用于材料表面改性的一种廉价高效、非视线的技术.采用等离子体粒子模型,通过假设电子密度服从Boltzmann分布,求解Poisson方程和Newton方程,跟踪离子在等离子体鞘层中的运动形态及特性并进行统计分析,研究了不同上升速率和形状的6种波形上升沿对鞘层时空演化、离子注入能量和剂量的影响.结果表明,在PIII过程中,脉冲上升沿影响了等离子体鞘层的扩展,且不同波形诱导的鞘层厚度间存在最大差值.电场强度在鞘层的外边缘区域存在陡降区,离子的运动为非匀加速过程.可以通过调整脉冲波形上升沿特性实现离子注入能量和剂量的优化,数值仿真可以有效地为电源设计和工艺优化提供依据.
- 黄永宪田修波杨士勤Fu RickyChu K.Paul
- 关键词：等离子体浸没离子注入鞘层上升沿
- 瓶体内表面制备类金刚石膜流场结构的格子波尔兹曼模拟被引量：2
- 2009年
- 类金刚石膜(Diamond-like Carbon,DLC)具有优异的气体阻隔性能。在PET瓶体内表面制备DLC阻隔涂层时,阻隔涂层的均匀性会受到瓶体内流场结构(气压分布、速度分布等)的显著影响。本文应用格子波耳兹曼方法(Lattice BoltzmannMethod/Model,LBM)对PET瓶体内制备DLC阻隔涂层时的流场结构进行模拟,研究了送气速度、气体运动粘度系数和装置结构变化时瓶体内部流场结构的变化。研究结果表明,降低进气速度和提高气体运动粘度系数有利于减弱回流而获得层流结构;装置结构的调整能够改变瓶体内的流场结构,采用恰当的异型装置可以获得较理想的流场结构,对实验工作具有一定的指导意义。
- 汪志健田修波李景巩春志杨士勤Paul K Chu
- 关键词：类金刚石膜内表面流场
- 等离子体离子注入管筒内壁自激射频放电等离子体特性(英文)
- PⅢ处理管筒内表面轴向均匀性是离子注入一项较为棘手的问题。如何在有限的空间内产生均匀的等离子并实现注入是这项技术的关键。本文采用不锈钢管筒自身直接作为射频天线,在管筒内部获得了稳定的辉光放电等离子体。针对该等离子体源新模...
- 巩春志田修波朱宗涛杨士勤
- 关键词：射频等离子体特性
- 文献传递
- 塑料瓶壁体等离子体增阻技术
- 单一的塑料薄膜或者塑料容器由于自身的透气性难以满足一些气体敏感产品的包装。利用等离子体化学气相沉积(PECVD)的方法在聚酯(PET)薄膜和聚酯瓶壁体沉积制备了碳薄膜。利用X射线光电子能谱议(XPS)、光学透过率测试仪、...
- 田修波李景杨士勤
- 关键词：等离子体化学气相沉积
- 文献传递
- 等离子体离子注入管筒内壁自激射频放电等离子体特性
- PⅢ处理管筒内表面轴向均匀性是离子注入一项较为棘手的问题。如何在有限的空间内产生均匀的等离子并实现注入是这项技术的关键。本文采用不锈钢管筒自身直接作为射频天线,在管筒内部获得了稳定的辉光放电等离子体。针对该等离子体源新模...
- 巩春志田修波朱宗涛杨士勤
- 关键词：射频等离子体特性
- 文献传递
- 脉冲射频与40kV脉冲高压直接耦合新电源系统研制
- 研制的用于等离子体浸没离子注入的电源系统采用高压隔离与高频滤波技术,将40kV 高压脉冲电源与13.56MHz 射频电源直接耦合,由单一输出电缆连接到实验靶台上,通过射频与高压脉冲的时序控制,实现了30kV 的高压脉冲与...
- 田修波巩春志朱宗涛杨士勤
- 关键词：脉冲射频高压脉冲
- 文献传递
