国防计量科研项目(60803134)
- 作品数：7 被引量：51H指数：4
- 相关作者：陈磊朱日宏吴栋高志山何勇更多>>
- 相关机构：南京理工大学中国人民解放军镇江船艇学院更多>>
- 发文基金：国防计量科研项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学一般工业技术更多>>
- 基于二维光栅分光的同步移相干涉测量技术被引量：26
- 2007年
- 为了干涉测量的抗振目的,提出了一种新的同步移相干涉测量方案并搭建了实验装置。整个测量系统在迈克耳孙偏振移相干涉仪的基础上,利用一个正交的二维光栅产生对称分光,选取对于理想光栅衍射效率一致的(±1,±1)级衍射光作为测量分光路,使之分别通过偏振方向依次相差45°的一个偏振片组,从而分别形成0°、90°、180°和270°相移的四幅移相干涉图,按照传统的四步移相算法,对被测波面进行了复原。分析了光强畸变和移相误差对系统的测量误差的影响。利用该系统测量一球面系统,结果与在ZYGO干涉仪上相比较,球面系统的均方根误差相差0.012λ,峰谷值相差0.051λ。
- 左芬陈磊徐春生
- 关键词：光学测量抗振技术同步移相
- 抗振型移相干涉仪中PZT移相器的改进被引量：8
- 2003年
- 结合移相式干涉仪主动抗振技术,提出对普通PZT光学移相器进行机械结构的优化,改善其机械响应性能并保证有足够的位移量。作为机电反馈式干涉仪抗振系统的核心部件,改进后的PZT构件用于干涉仪的移相驱动,同时又用作光学相位调制器和振动补偿器。经移相干涉仪的在线测量,PZT移相器达到了1000Hz(振动幅度为λ/2)以上的时间响应速度并获得了6μm左右的位移量,满足了干涉抗振系统的需要。
- 吴栋朱日宏陈磊何勇王青高志山
- 关键词：移相干涉术主动抗振
- 干涉仪自适应抗振的空间移相术被引量：8
- 2003年
- 根据时域移相算法的概念 ,提出了一种空间移相术 ,它能够检测因外界振动导致条纹抖动而引起的干涉图样的空间相位变化 .运用这种技术在Twyman Green移相式干涉仪中建立了一套自适应抗振系统 ,它可以实时测量振动引起的相位变化大小 ,并通过反馈器件PZT实时校正干涉条纹的相位 ,使得干涉条纹稳定以保证光学测量的正常进行 ,与此同时PZT还作为移相器件 .
- 吴栋陈磊陈进榜朱日宏高志山
- 光学移相干涉仪抗振系统的鲁棒控制系统仿真分析被引量：3
- 2007年
- 将被动抗振和主动抗振相结合的混合控制技术应用于解决光学移相干涉仪抗振系统的不确定性问题,其中主动抗振采用鲁棒控制策略.该方法克服了由模型和干扰所引起的不确定性,使得控制系统能够有效地抑制抗振模型的不确定性和外部振动的干扰.仿真结果表明,该方法使光学移相干涉仪在振动的干扰下具有较好的鲁棒稳定性和控制准确度.
- 陆振宇朱日宏陈磊高志山
- 关键词：主动振动控制鲁棒控制理论
- 移相器类进动现象对干涉测量的影响被引量：3
- 2004年
- 压电晶体 (PZT)光学移相器作为移相干涉仪 (PSI)的关键部件 ,其移相误差直接影响被测波面的相位复原精度。分析了压电晶体移相器在移相过程中导致干涉图旋转的原因———类进动 ,其本质是移相器在伸长的同时其参考镜端面法线方向绕着伸长方向产生旋转。利用典型的Hariharan五步移相算法 ,得出了类进动现象所导致的波面相位复原误差计算公式 ,给出了在测试孔径上的误差分布图。对影响误差大小的主要因素如干涉条纹的宽度、旋转的角度和测试口径等进行了具体分析 ,由此推导出在移相干涉仪光学调整过程中控制干涉图旋转误差的准则。
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- 关键词：光学技术与仪器移相干涉仪移相器
- 干涉仪环境振动的外差检测与自适应控制被引量：9
- 2004年
- 测试环境的微振动干扰会引起干涉图的抖动,影响移相干涉仪的测量准确.设计了一种内嵌于移相干涉仪的外差测振光路,对干涉仪所受环境微振动进行实时检测;采用单片RF/IF集成芯片对两路40MHz的模拟外差信号直接进行比相,简化了通常使用的数字测相方法.在测得环境振动信息后,运用DSP技术和自适应信号处理的方法,实现了基于PZT移相器的自适应振动控制,实验结果表明干涉仪对幅频积不大于100waves·Hz的环境振动的抑制能力达-39dB.
- 吴栋朱日宏陈磊何勇姬会东
- 关键词：移相干涉仪环境振动相位检测
- 移相器微位移旋转误差的分析及测试被引量：1
- 2006年
- 以压电陶瓷(PZT)微位移器为主要研究对象,引入一种处理静态干涉图的新方法——虚光栅移相叠栅条纹法,设计实验对一台实际使用的移相器微位移旋转误差进行测试研究,对其引起的波面旋转情况进行了定量的计算分析,并给出测试结果·用虚光栅移相叠栅条纹法处理实验中加有载频的干涉图时,不需要使用任何移相器件,可以进行动态位相的检测,整个移相过程用计算机进行控制,避免了引入额外的移相误差·
- 武旭华陈磊颜加军
- 关键词：移相干涉术
