江苏省自然科学基金(BK2006223)
- 作品数：6 被引量：12H指数：2
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- 发文基金：江苏省自然科学基金教育部重点实验室开放基金江苏省高校高新技术产业发展项目更多>>
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- 基于光学干涉技术的MEMS薄膜泊松比在线测量方法研究被引量：1
- 2010年
- 提出了一种基于光学干涉技术的MEMS薄膜泊松比在线测量方法.该方法采用直角悬臂梁作为测试结构,在上下两电极之间加上电压后,在静电力的作用下,与锚区相连的第一段直梁将发生弯曲变形和扭转变形.先由米劳干涉仪测得悬臂梁的变形,然后分离出形变中的弯曲分量和扭转分量,进而计算出薄膜材料的泊松比.用CoventorW are软件验证.结果显示该方法精度很高.
- 赵彩峰戎华
- 关键词：MEMS薄膜泊松比
- MEMS薄膜平均应力梯度在线测量方法
- 2008年
- 结构层淀积是MEMS加工过程中的重要工艺步骤,淀积薄膜的应力梯度是影响MEMS器件性能的一个重要的力学参数.文中介绍了几种常见的平均应力梯度在线测量方法,阐明了其测试结构及测量原理,并对这些测量方法进行了比较.
- 陈涵戎华王鸣
- MEMS薄膜平均应力梯度及弹性模量在线提取方法被引量：1
- 2007年
- 提出了一种利用静电作用下悬臂梁的吸合电压提取MEMS薄膜沿厚度方向的平均应力梯度及弹性模量的方法,该方法的关键在于实现悬臂梁吸合电压的快速、精确计算.考虑了悬臂梁由应力梯度引起的沿宽度方向的弯曲,提高了吸合电压的计算精度.实际模拟表明该测量方法计算速度快、精度高,能够应用于实际工艺过程中材料参数的在线测量.
- 戎华黄庆安王鸣
- 关键词：悬臂梁弹性模量
- MEMS薄膜弹性模量及残余应力提取的数值算法被引量：3
- 2008年
- 材料弹性模量、残余应力的在线提取,已成为MEMS领域中日益迫切的需要。文中首先简要介绍现有的一些主要的材料参数提取方法,然后提出了一种无需静电作用下两端固支梁吸合电压的显式解析表达式,而是利用决定静电作用固支梁弯曲挠度的微分方程直接计算吸合电压,再提取材料参数的算法。避免了在推导吸合电压的显式表达式过程中可能引入的误差,有利于保证材料参数测量的精度。模拟结果表明这种算法速度快、精度高,对实际应用有较好的参考价值。
- 戎华陈涵王鸣
- 硅压力传感器中硅玻璃阳极键合的热应力分析被引量：6
- 2009年
- 由于硅与玻璃阳极键合需要在相对较高的温度下进行,因此材料之间会因热膨胀系数失配而产生较大的热应力,该应力对压力传感器的性能影响较大。对采用单晶硅横膈膜作为敏感膜与玻璃环阳极键合形成压力参考腔的封装,用有限元方法对硅玻璃环键合后因温度变化所产生的应力分布进行了系统仿真分析,并采用泰曼-格林干涉仪对键合后硅片的变形进行测量。测量结果显示硅膜的挠度为283nm,测量结果与仿真结果基本一致。
- 张强王鸣戎华
- 关键词：阳极键合热应力干涉法
- MEMS薄膜平均应力梯度及等效弹性模量在线提取方法被引量：1
- 2006年
- 薄膜沿厚度方向的平均应力梯度及薄膜的弹性模量对器件性能有重要影响.提出了一种利用静电作用下悬臂梁的吸合电压提取薄膜沿厚度方向的平均应力梯度及等效弹性模量的方法,该方法的关键在于实现悬臂梁吸合电压的快速精确计算.考虑了悬臂梁由应力梯度引起的沿宽度方向的弯曲及实现其固定端接近理想固支的方法,提高了吸合电压的计算精度.实际模拟表明该测量方法计算速度快、精度高,能够应用于实际工艺过程中材料参数的在线测量.
- 戎华王鸣
- 关键词：悬臂梁弹性模量
