教育部重点实验室开放基金(ACMT-2008-05)
- 作品数：3 被引量：11H指数：2
- 相关作者：胡明张洁王晓东李贵柯陈弘达更多>>
- 相关机构：天津大学中国科学院更多>>
- 发文基金：教育部重点实验室开放基金国家自然科学基金天津市应用基础与前沿技术研究计划更多>>
- 相关领域：理学机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 不同升温热处理方式二氧化钒薄膜的制备与光学相变性能被引量：8
- 2010年
- 采用双离子束溅射方法制备氧化钒薄膜,分别利用常规和快速两种升温方式对氧化钒薄膜进行热处理,利用傅里叶变换红外光谱技术对热处理后氧化钒薄膜的变温光学透射性能进行测试,并对5μm波长处透过率随温度的变化曲线进行相变特性分析.实验结果表明,经过常规和快速升温热处理后均获得了二氧化钒薄膜;快速升温热处理后得到的薄膜中二氧化钒晶粒较小,尺寸分布均匀;而常规升温热处理后的二氧化钒薄膜中晶粒尺寸分布较宽、常规和快速升温热处理后,氧化钒薄膜的光透过率均存在可逆突变特性,变化幅度均超过60%.相变性能分析结果表明,快速升温热处理获得的二氧化钒薄膜相变持续的温度宽度较大,光学相变温度为63.74℃,高于常规升温热处理的60.31℃.
- 梁继然胡明王晓东阚强李贵柯陈弘达
- 关键词：氧化钒薄膜红外透射光谱
- 介孔硅基WO_3纳米颗粒薄膜室温气敏元件特性(英文)被引量：2
- 2010年
- 采用双槽电化学腐蚀法在p+单晶硅片表面制备介孔硅层(meso-PSlayer),然后用对向靶磁控反应溅射法在介孔硅表面沉积WO3纳米颗粒薄膜,在干燥空气中于400℃下保温4h进行退火热处理,制备出介孔硅基WO3纳米颗粒薄膜(WO3-PS)室温气敏元件.利用扫描电子显微镜(SEM)分析介孔硅层及WO3-PS的表面形貌,通过X射线衍射(XRD)研究WO3的结晶状态,测试WO3-PS气敏元件在室温下对NO2、NH3的气敏性能,并探讨了WO3-PS气敏元件的工作机理.实验结果表明,在介孔硅表面沉积WO3纳米颗粒薄膜可使介孔硅的气敏性能显著提高,其中在室温下对10×10-6NO2的灵敏度由5提高至56,大大提高了介孔硅的灵敏度,并降低了其响应/恢复时间,提高了对NO2的选择性.
- 孙凤云胡明孙鹏刘博张洁
- 关键词：WO3室温气敏特性
- 非制冷微测辐射热计支撑层厚度比研究被引量：1
- 2010年
- 根据实验室设计的单层微测辐射热计所采用的Si3N4和SiO2双层膜复合支撑结构工艺,分别利用力学的等效截面方法和复合材料热导公式,从理论上推导了微桥桥腿正应力和热导的解析表达式.分析在其它因素不变的情况下,仅调整Si3N4和SiO2两者厚度比值(m)对微测辐射热计力学和热学性质的影响,并用ANSYS有限元仿真的方法验证了理论推导.
- 许路加胡明杨海波杨孟琳张洁
- 关键词：非制冷红外成像微测辐射热计微桥结构
