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湖北省自然科学基金(2010CDB01801)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：陈育荣王生怀黎新更多>>
相关机构：湖北汽车工业学院更多>>
发文基金：湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队计划项目湖北省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇电机
  • 1篇压电陶瓷驱动
  • 1篇压电陶瓷驱动...
  • 1篇衍射
  • 1篇衍射光栅
  • 1篇伺服
  • 1篇伺服电机
  • 1篇驱动器
  • 1篇面形
  • 1篇光栅
  • 1篇表面形貌测量

机构

  • 1篇湖北汽车工业...

作者

  • 1篇黎新
  • 1篇王生怀
  • 1篇陈育荣

传媒

  • 1篇自动化仪表

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种新型三维精密工作台的设计与应用被引量：1
2012年
为满足超精密表面形貌测量对工作台的大量程、超精密和三维扫描的要求,设计了一种新型三维精密工作台。工作台由自带计量系统的二维工作台和垂直扫描工作台组成。测量时闭环系统控制二维工作台的位移;同时,Z方向位移执行单元驱动垂直扫描工作台,实现了垂直方向上的精确定位。将研制的工作台与现有的位移传感器组合成表面形貌测量系统,对标准样板的粗糙度进行测量,其测量示值误差均在5%以内。结果表明,所设计的三维精密工作台能够满足使用要求。
黎新陈育荣王生怀
关键词：表面形貌测量压电陶瓷驱动器衍射光栅伺服电机
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