江苏省自然科学基金(SBK201121728)
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
- 相关作者：郑有炓朱顺明朱振邦顾书林黄时敏更多>>
- 相关机构：南京大学更多>>
- 发文基金：江苏省自然科学基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- MOCVD法生长ZnO薄膜时氧源t-BuOH和H2O的比较研究
- 2012年
- 以活性较低的叔丁醇(t-BuOH)和水(H2O)作为氧源,采用MOCVD技术生长了ZnO薄膜。研究发现,t-BuOH作为氧源可以有效地抑制其与锌源之间的气相预反应,比H2O作为氧源进行ZnO薄膜的外延生长具有更高的生长速率,得到的ZnO薄膜晶体质量更优,同时载流子的迁移率可以达到37.0 cm2.V-1.s-1,表明t-BuOH更适合作为氧源通过MOCVD系统生长ZnO薄膜。
- 朱顺明黄时敏顾书林朱振邦顾然郑有炓
- 关键词：MOCVD
- ZnO/ZnMgO异质结场效应管的制备与性能研究
- 2012年
- 利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,在ZnO/ZnMgO异质结构上制备SiO2作为栅绝缘层,采用光刻与腐蚀工艺制备ZnO/ZnMgO异质结场效应管。电学性能测试及计算结果表明器件栅压调控作用明显。发现栅端漏电流对器件性能造成一定影响。在低温条件下,栅绝缘层产生钝化,从而能够改善器件的性能。
- 朱振邦顾书林朱顺明叶建东黄时敏顾然郑有炓
- 关键词：异质结场效应管迁移率
