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贵州省教育厅科研项目(2010053)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：李振宇王元生周筑文陈德良更多>>
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相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电容
  • 1篇电容放电
  • 1篇调制
  • 1篇调制信号
  • 1篇多频
  • 1篇信号

机构

  • 1篇贵州师范学院

作者

  • 1篇陈德良
  • 1篇周筑文
  • 1篇王元生
  • 1篇李振宇

传媒

  • 1篇贵州师范学院...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
多频激励信号对离子能量分布的影响被引量：2
2012年
在等离子体多频电容放电过程中不同频率的电压、谐波、频率、是如何影响离子的能量分布,分析和把握这种现象和成因机制,对于更好地控制集成电路蚀刻等微处理技术,以及对等离子体物理基础理论研究均有重要作用。着重讨论高低频(双频)激励电容耦合放电过程中的粒子能量分布函数(IEDs),从理论分析推导出多频激励信号的离子能量分布函数计算模型。通过该计算模型可以分析和预测不同高低频激励的离子能量分布,计算结果与目前国内外公开发表学术期刊研究的相关结论基本吻合。
周筑文陈德良王元生李振宇
关键词：调制信号
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共1页<1>
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