您的位置： 专家智库 > >

国家自然科学基金(60232090)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：雷耀虎赵志刚牛憨笨刘鑫郭金川更多>>
相关机构：深圳大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇电化学
  • 1篇电化学刻蚀
  • 1篇硬X射线
  • 1篇射线
  • 1篇相衬成像
  • 1篇相位光栅
  • 1篇刻蚀
  • 1篇光栅
  • 1篇硅刻蚀
  • 1篇X射线
  • 1篇成像

机构

  • 1篇深圳大学

作者

  • 1篇郭金川
  • 1篇刘鑫
  • 1篇牛憨笨
  • 1篇赵志刚
  • 1篇雷耀虎

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
硬X射线相位光栅的设计与研制被引量：2
2010年
针对在普通实验室和医院实现40—100keVX射线相衬成像的需求,考虑到成像系统参数、X射线源空间相干特性及光栅衍射效率,设计出硅基相位光栅结构参数.利用我们已发展的光助电化学刻蚀技术研制出直径为5英寸的相位光栅,其空间周期为5.6μm,线宽为2.8μm,深度为40—70μm.在理论分析的基础上,通过提高硅片两端有效工作电压和修正Lehmann电流密度公式,解决了实际刻蚀过程中出现的钻蚀问题.由实验结果可知,本方案对制作大面积高精度相位光栅十分有效。
刘鑫雷耀虎赵志刚郭金川牛憨笨
关键词：X射线相衬成像相位光栅硅刻蚀
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0